英國Emitech全自動磁控離子濺射儀

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產品型號K550X

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更新時間：2024-09-11 17:37:52瀏覽次數：230次

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上海百賀儀器科技有限公司

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產品簡介

英國Emitech全自動磁控離子濺射儀K550X具有旋轉樣品臺，它也可傾斜，非常適合各種樣品使用。

詳細介紹

英國Emitech全自動磁控離子濺射儀K550X具有旋轉樣品臺，它也可傾斜，適合各種樣品使用。預選擇參數及全自動控制使得精確鍍層及重復范瘸粱獎恪４諾綣馨惺褂玫偷繆梗商岣咝剩琄550X能得到精細的顆粒，由于是冷濺射，所以無需冷卻靶面或樣品臺。
腔室直徑為165 mm(6英寸)，非常方便裝載及移走樣品。
儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶（或用戶選擇），提供適合的性能價格比。可選靶材包括金/鈀，鉑/鈀和鉑。
功能集中在儀器面板上及即插即用電子學設計，的“up-time”，這些用戶友好設計滿足了不同學科的用戶需求。
濺射參數可被預先設置，包括氣體放氣針閥，此閥為電磁閥，一旦設置，它就不需要再調節。濺射頭互鎖，系統可容易選配K250鍍碳附件。本儀器為全自動操作，可控制獨立的真空泵。

英國Emitech全自動磁控離子濺射儀K550X的特點
1、全自動控制
2、低電壓濺射
3、高分辨率精細涂層
(金顆粒可達2 nm)
4、具有傾斜葜玫奶厥廡?br /> 5、均勻厚度沉積
(掃描電鏡一般厚度為20nm 或200埃)
6、165 mm(6英寸)腔室

優點
（1）易操作
（2）無需冷卻樣品臺
（3）精確的再次涂層
（4）適合各種樣品
（5）膜厚度重復性好
（6）容易裝載或卸載樣品
（7）可預設沉積厚度

英國Emitech全自動磁控離子濺射儀K550X的技術參數
1、儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 重量:18公斤
2、工作腔室:硼硅酸鹽玻> 165mm Dia x 125mm H
3、安全鐘罩:聚碳酸酯
4、靶：60mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標準靶面)
5、樣品臺直徑為50mm，靶面距離40mm,具有傾斜裝置的旋轉臺
6、真空范圍:ATM-1x10-2 mbar
7、濺射電流:0-50mA
8、沉積速率:0-25nm/分
9、濺射定時: 0-4 分鐘
10、預設置針閥:控制氬
11、電源:230 伏 50Hz