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合測實業(yè)上海有限公司

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日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

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更新時間：2025-02-03 12:24:53瀏覽次數(shù)：36次

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合測實業(yè)上海有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐簡介：潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐簡介：

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

特點

1.工作溫度360℃和500℃。

2.采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

3.高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時間短，N2 消耗量極低。

4.磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

5.可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

6.標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。

安全性

1.門檢測開關(guān)

2.溫度過升防止器

3.氧濃度異常安全裝置

4.氮?dú)鈮毫z測

5.氮?dú)饬髁繖z測

6.冷卻水流量檢測

7.漏水傳感器

8.過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)

技術(shù)參數(shù)

日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù)：

型號			DTN430C	DTN630C	DTN450C	DTN650C
方式			氮?dú)庵脫Q +強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)
性能	使用溫度范圍		室溫+50～360℃		室溫+50～500℃
	溫度調(diào)節(jié)精度		±0.5℃（at360℃）		±1.0℃（at500℃）
	溫度分布精度		±5.0℃（at360℃）		±8.0℃（at500℃）
	溫度到達(dá)時間		約80分		約 110分
	氧濃度		20ppm以下
	氧濃度到達(dá)時間		≤20分（250L/min氮?dú)猓?/span>	≤25分（250L/min氮?dú)?/span>	）≤ 20 分（250L/min氮?dú)猓?/span>	≤25分（250L/min氮?dú)猓?/span>
	潔凈度		溫度恒定時 100級
構(gòu)成	內(nèi)裝		不銹鋼板
	外裝		冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
	斷熱材		硅酸鋁棉
	加熱方式		不銹鋼加熱管		合金加熱絲
	加熱功率	主加熱器	6.75KW	9KW	9.5KW		14.2KW
		N2預(yù)熱	1KW
	冷卻機(jī)構(gòu)		不銹鋼冷卻水換熱器
	HEPA過濾器		集塵效率：0.3um 粒子 99.97%以上
控制器	溫度控制方式		PID控制
	溫度控制器		液晶觸摸屏+PLC
	運(yùn)行功能		手動定值運(yùn)行、自動程序運(yùn)行
	程序模式		程序運(yùn)行 9 個，每個程序可設(shè)置 9步（可擴(kuò)展）
	附加功能		操作員等級認(rèn)證
	加熱器回路控制		SSR驅(qū)動
	傳感器		K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）
安全裝置			門檢測開關(guān)、過升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2流量檢測、風(fēng)機(jī)過載檢測、過電流漏電保護(hù)開關(guān)等
規(guī)格	內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）		450×450×450	660×500×660	450×450×450	660×500×660
	外形尺寸（寬×深×高mm）		1090×950×1540	1300×1000×1750	1240×1010×1750	1450×1060×1960
	內(nèi)容積		91L	216L	91L	216L
	棚板層數(shù) /層間距		12 層/30mm	19 層/30mm	12 層/30mm	19 層/30mm
	排氣口		40KF法蘭
	氮?dú)馊肟?/span>		Rc1/2
	冷卻水入口		Rc3/4
	熱水出口		Rc3/4，2個
	電源（50/60Hz）額定電流		3相AC380V 16A	3相AC380V 19A	3相AC380V 20A	3相AC380V 27A
	重量		約900kg	約1100kg	約900kg	約1100kg
選購品			棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機(jī) / 運(yùn)行 /故障）、以太網(wǎng)通信功能

關(guān)鍵詞：傳感器硅酸鋁加熱管加熱器換熱器

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