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廣州蘭瑟電子科技有限公司
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微米納米世界里造大飛機傳感器
中國粉體網訊 越來越多功能被集成到中,以電子羅盤為例,它與三軸陀螺儀、三軸加速度傳感器組成九軸系統(tǒng),成為滿足精準定位需求的關鍵器件。從導航的地磁傳感器,到檢測海拔氣壓的壓力傳感器,智能依靠各種各樣的微傳感器“眼觀六路、耳聽八方”。
記者從今年工博會高校展區(qū)項目發(fā)布中獲悉,上海交通大學正準備公開展示其微納集成制造技術,在電子顯微鏡下的微米納米世界里,不但能造出可用于的高度集成傳感器,還能造出大飛機上的“高精尖”傳感器。
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自主研發(fā)一系列微納傳感器
在智慧城市中,傳感器就是“五官”和“皮膚”,承擔著感知并獲取環(huán)境中一切信息數據的功能,并追求在更小的器件空間內集成大的“感官功能”。作為集成電路器件的延伸,各類新型傳感器芯片如微型壓力傳感器、加速度傳感器等,通常都包含可動的微小機構,需采用*加工手段,精度甚至達到頭發(fā)絲直徑的百分之一。mavin足立稱重傳感器目前,我國高價值傳感器主要依賴進口,國產器件*小且多處于低端。
上海交大電子信息與電氣工程學院有一支40多名師生組成的微納集成制造技術團隊,*從事基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的高性能傳感器研發(fā)。團隊負責人丁桂甫介紹,在傳統(tǒng)集成電路硅材料的微加工技術之上,通過工藝兼容,合理引入金屬、聚合物、陶瓷、碳基等多種類型的敏感材料和功能材料,就能豐富和發(fā)展微納集成的技術內涵。進入學院的微米納米加工技術重點實驗室,基于這樣的微米納米級“智能工廠”,各類非硅材料在傳感器芯片中被高精度集成。他們*建立多元兼容的集成制造技術體系,成功開發(fā)出一系列具有自主知識產權的微納傳感器。
為航空發(fā)動機研制提供支撐
我國大型客機C919已成功上天,但如何真正擁有屬于自己的大飛機“心臟”——航空發(fā)動機,仍是擺在國人面前的一道難題。其中,對航空發(fā)動機葉片設計優(yōu)化所需的高溫原位檢測技術,需求為迫切。上主要航空發(fā)動機制造商早在上世紀80年代就開展相關研究,國內在這方面亟須突破。
對此,上海交大微納集成制造技術團隊內重要的航空發(fā)動機研制單位,將傳感器的*設計制造技術應用于高溫傳感器研制,重點解決耐高溫合金材料的兼容集成工藝難題。雙方聯合攻關,對特種加工設備數十次改造,mavin足立稱重傳感器加之無數次的工藝優(yōu)化實驗,終于成功研制出可在發(fā)動機葉片表面上原位集成的薄膜型高溫傳感器,其敏感結構的厚度不及頭發(fā)絲的五分之一,幾乎不會對空氣動力特性產生影響。其檢測溫度上限可達1200攝氏度,有望滿足目前航空發(fā)動機研制的迫切需求。丁桂甫說:“相信隨著研發(fā)深入,更高監(jiān)測溫度和更高穩(wěn)定性的原位集成薄膜溫度傳感器,會為*航空發(fā)動機研制提供支撐。”
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建專業(yè)技術平臺服務社會企業(yè)
*如何推向產業(yè)應用?這支技術團隊在市科委支持下建立起“非硅微納集成制造專業(yè)技術服務平臺”,面向社會開展技術推廣。
在一家專業(yè)從事糖尿病診療設備開發(fā)的科研科技公司,微納集成制造技術團隊在其創(chuàng)建初期就協助完成動態(tài)血糖傳感器電極初始原型的樣品研制,承擔了柔性電極小批量制造工藝優(yōu)化和批量制造成套技術開發(fā)。他們指導企業(yè)建成投資3000萬元的植入式微針電極生產工藝線,微針電極核心技術指標達同期產品的*水平。
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