通信電纜 網絡設備 無線通信 云計算|大數據 顯示設備 存儲設備 網絡輔助設備 信號傳輸處理 多媒體設備 廣播系統 智慧城市管理系統 其它智慧基建產品
北京市高普樂光電科技有限公司
北京市高普樂光電科技有限公司
品牌：高普樂Glopro型號：GPL-UV2019WH物方視場：22mm X12mm（25.0mm diameter)）鏡頭焦距/倍率：1.9X (±0.05%) .調整后鎖緊.產品特點：產品具有衍射極限的成像質量、高分辨力、大視場、小畸變、高性能等優勢。應用領域：適用于微電子生產投影式光刻機等制作工藝。
1.9：1多波段紫外制版鏡頭 |
多波段紫外制版鏡頭是微電子生產投影式光刻機的核心部件，隨著微電子生產工藝不斷向微細化、集成化發展，對光刻鏡頭的要求越來越高。要求具有衍射極限的成像質量、高分辨力、大視場、小畸變，其性能直接決定了光刻機的圖形傳遞能力。制造光刻鏡頭除了設計出一個成像完善的光學系統和精選優質的光學玻璃外，關鍵在于光學加工、結構設計裝配以及相關的測試技術等。
基本參數 |
物方視場：22mm X 12mm （25.0mm diameter）；
放大倍率：1. 9倍（土 0. 05%）；
像方尺寸：41.8 mm X 22.8 mm（47.5mm diameter）；
物方數值孔徑：0. 12 Na；
物像光路類型：物、像遠心光路；
物方工作距離：73.66 mm土0.5mm （從鏡頭小端機械端面到物面）；
像方工作距離：＞150. 0mm 士1. 0mm（在像方加3mm保護玻璃后機械端面到像面）；
設計波長范圍：350 nm ~ 410 nm；
透過率：>73%@355nm、>77%@375nm、>85%@405nm；
對比度（DMD成像）：1）亮場／暗場＞ 5000；
2）對比度=（P亮 - P暗）/P亮×99%）＞99.5%；
鏡頭固定可靠性：鏡頭按照現有固定方式安裝后，用 M6 的六角匙敲引擎的任意位置，在停止敲擊時像的位置能恢復原位，位置變化≤5um；
像質要求 |
像面所有視場內 MTF：＞0. 3 @100lp/mm；
畸變：＜0.02%（4um）@ 1.9 Field；
物、像遠心光路：主光線傾角＜0.5度；
焦深：士250µm；
場曲：偏差<60µm；
補充說明 |
1．外徑：< 100 mm，兩端用細牙螺紋；
2．鏡頭出光端加保護鏡片，保護鏡片易更換；
3．鏡頭長度：<206mm；
4．物像共軛距：430.0土1mm；
5．在40W紫外激光（405nm+355nm）照射300小時以上衰減＜3%；
6．內表面做消光處理，且在長時間紫外照射下不揮發變色，雜光≤0.2%，黑白棋盤格比＜0.4%，沒有耀斑；
尺寸圖 |
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
智慧城市網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
