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主要參數：
1.測量范圍：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm
2.空間測量示值誤差：E≤3.5+L/250µm
3.分辨率：0.5µm
4.zui大承受重量：300kg
5.儀器重量：550kg
6.外型尺寸：x=950mm，y=1050mm，z=2000mm
7.環境要求：
l 溫度范圍：20±2℃，0.5℃/h
l 氣源壓力： 0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
l 濕度范圍：45%-65%
l 電源： 220V±10% ，50Hz
l 功率：1200瓦
l 地面振動：頻率范圍：0～6Hz， 6～50Hz， ＞50Hz
振 幅：7.6µm， 2.5µm， 7.6µm
產品描述：
1.整體式的花崗巖工作臺，使其具有承載能力強、工件放置空間寬闊、裝卸便捷的特點；
2.三軸導軌均采用優質花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩定性、抗時效變形能力，剛性好、幾何變形zui小；
3.非線性彈簧系統的應用，降低了導軌微小誤差對測量精度的影響，同時保證設備具有更高的環境溫度適應性；
4. 全部導軌采用高精度的空氣軸承，環抱式的導軌設計提高了機器的剛性和穩定性，即使長時間工作也能保持很高的精度，確保了機器優異的動態特性
5. Z軸扭轉是決定測量機精度的重要環節，可靠的防轉結構設計使得即使在使用測頭加長桿時也能獲得很高的精度。
6. Z軸采用重力平衡裝置，可靠程度高，運動更平穩、順暢。
7.三軸快速移動、鎖緊、微調采用一鍵式轉換。只用輕輕一扳空氣鎖緊裝置對應的開關，便可將各軸由快速移動狀態轉換至鎖緊狀態，鎖緊后可通過X、Y、Z軸微調旋鈕方便的移動各軸。在對工件的狹小部位進行檢測時，此功能體現的尤為充分；
8.長度測量系統采用國外進口高精度反射式金屬帶狀光柵尺和讀數頭，具有*的精度和精度穩定性
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