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測量范圍（空

氣、O? 、CO、 N? )

mbar

5×10?1? … 1000

測量范圍（空

氣、O? 、CO、 N? )

Torr

3.8×10?1? … 750

精度

10?? … 10?2 毫巴

% of reading

±15

可重復(fù)性

10?? … 10?2 毫巴

% of reading

5

除氣 (1)

p < 7.2 × 10??

mbar

electron bombardment, max. 3 min

壓力，最大

bar (absolute)

2

溫度運行（環(huán)境）

°C

0 … +50

貯存

°C

-20 … +70

在法蘭處烘烤 ，無電子設(shè)備 BPG402-S

°C

80

無電子設(shè)備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL

°C

150

電源電壓

V (dc)

+20 … +28

電源電壓

A (dc)

≤0.8

測量范圍

V

+0.774 … +10

錯誤信號

V

0.1 / 0.3 / 0.5

輸出信號模擬

電壓與壓強

volts per decade

0.75

輸出信號模擬

最小負(fù)載電阻

k?

10

設(shè)定點繼電器

設(shè)定點數(shù)量

1

繼電器觸點

n.o., potential free

設(shè)定點繼電器

范圍

mbar

1×10?? … 100

設(shè)定點繼電器

滯后

% of reading

10

設(shè)定點繼電器

觸點額定值

V (dc)

≤30

設(shè)定點繼電器

觸點額定值

A (dc)

≤0.5

數(shù)字功能

degas

接口（數(shù)字）(2)

RS232C

發(fā)射控制

automatic / manual via interface

單絲

two Yt?O? coated Ir

單絲狀態(tài)/繼電器

LED / relay

電氣連接

D-Sub, 15-pin, male

電纜長度，最大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料

Yt?O?, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF

cm3 (in.3)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

450 / 710

保護(hù)等級

IP30

Profibus DP

波特率

kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Profibus DP

波特率

Mbaud

1.5 / 12

數(shù)字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission

control, degas function, monitor gauge status,

filament status, safe state allows definition of

behavior in case of error, detailed alarm and warn

模擬功能

0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量

2

設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點

n.o., potential free

Profibus DP 連接器

D-Sub, 9-pin, female

CDG（模擬輸出、 電源電

壓、設(shè)定點）連接器

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

設(shè)定點繼電器： 范圍                   mbar

1×10?? … 100

Profibus DP

設(shè)定點繼電器： 滯后                   % of reading

10

Profibus DP

設(shè)定點繼電器： 觸點額定值       V (dc)

≤30

Profibus DP

設(shè)定點繼電器： 觸點額定值       A (dc)

≤0.5

DeviceNet™

協(xié)議

DeviceNet™, group 2 slave only

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數(shù)字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; emission control, degas function , monitor gauge status,

filament status , safe state allows definition of behavior in case of error , detailed alarm and

模擬功能

0 … 10 V analog output pressure indication , two setpoint relays A + B

技術(shù)規(guī)格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設(shè)備類型

''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊

polling only

設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量

2

設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點

n.o., potential free

DeviceNet™

數(shù)據(jù)率開關(guān)

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

DeviceNet™

電纜長度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

電纜長度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

電纜長度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

DeviceNet™

設(shè)定點繼電器： 范圍

mbar

1×10?? … 100

DeviceNet™

設(shè)定點繼電器： 滯后

% of reading

10

DeviceNet™

設(shè)定點繼電器： 觸點額定值

V (dc)

≤30

DeviceNet™ 電源電壓

V (dc)

+11 … +25

真空計電源電壓

V (dc)

+20 … +28

DeviceNet™

設(shè)定點繼電器： 觸點額定值

A (dc)

≤0.5

DeviceNet™ 電源電壓

A (dc)

≤0.5

真空計電源電壓

A (dc)

≤0.8

以太網(wǎng) 以太網(wǎng)協(xié)議

protocol specialized for EtherCAT

通訊標(biāo)準(zhǔn)

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge

節(jié)點地址

Explicit Device Identification

物理層

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以太網(wǎng)數(shù)字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission

control, degas function monitor gauge status, filament

status safe state allows definition of behavior in case

of error detailed alarm and warning

過程數(shù)據(jù)

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

郵箱 (CoE)

SDO requests, responses and information

以太網(wǎng)連接件

RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT