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大連風華傳感科技有限公司


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氣體質量流量控制器MFC3100A

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具體成交價以合同協議為準

產品型號MFC3100A

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地大連市

聯系方式:劉嵩查看聯系方式

更新時間:2022-12-13 17:25:54瀏覽次數:381次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:121條

所在地區:遼寧大連市

聯系人:劉嵩 (銷售)

產品簡介

氣體質量流量控制器MFC3100A,控制范圍:30slpm ~ 125slpm ,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,無需溫度壓力補償。氣體質量流量控制MFC3100A是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩流裝置,能在較寬的量程范圍內快速而**地控制氣體流量。即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。

詳細介紹

氣體質量流量控制器MFC3100A產品亮點:

- 型:MFC氣體質量流量控制器

-控制范圍:30slpm 125slpm (sccm:標準毫升/ slpm:標準升/)

-準度等級: ±1% F.S

- 壓:≤70bar

-標準接口:0-5VDC4-20mA可選

-響應時間:≤2sec

-使用范圍:2~99% for max range

-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma

- 率:1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接:1/4”SWG1/8”SWG3/8”SWG,1/4”VCR

-適用介質:所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)

-無需溫度、壓力補償

氣體質量流量控制器MFC3100A

產品型號
MFC3100V
MFC3100A
流量范圍 (N2)
30slpm ~ 125slpm
30slpm ~ 125slpm
響應時間
≤2
≤2
準確度
≤±1% 滿量程
≤±1% 滿量程
重復精度
≤±0.25% 滿量程
≤±0.25% 滿量程
輸出輸入信號
0~5Vdc
0~5Vdc或4~20毫安
供電
+15~+28Vdc,350毫安
+15~+28Vdc,350毫安
耐壓
≤70 bar
≤70 bar
工作環境溫度
0~50 °C
0~50 °C

應用領域:
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE -燃料電池
-生物技術 -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機 -混氣配氣系統 -微反應裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業


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