D07-7B 氣體質量流量控制器

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更新時間：2025-01-31 09:16:26瀏覽次數(shù)：43次

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產品簡介

品牌：七星華創(chuàng) 型號：D07-7B

詳細介紹

產品簡介：質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
主要特點：
    高性能價格比、普通型產品
    橡膠密封、模擬電路的MFC
    7A型的更新?lián)Q代型
管狀分流，使用壽命長

滿量程流量范圍（N2）		5SCCM～10SLM
控制范圍		2～100％F.S.
閥類型（及閥初始狀態(tài)）		電磁調節(jié)閥（常閉）
準確度		±1.5％F.S.
線性		±0.5～1.5％F.S.
重復精度		±0.2％F.S.
響應時間		電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec
工作溫度范圍		5～45℃
工作壓差		0.1～0.5MPa
耐壓		3MPa
漏氣率		1×10-8atm.cc/sec He
通道濕材料		316L不銹鋼、密封材料
靜密封材料		氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠）
動密封材料		氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）
接頭選擇	VCR	1/4”
	雙卡套	1/8”、1/4”或φ6、φ3
重量		1.1kg