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昆山熙日機械設備有限公司
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SKY®CDG025D0.1...1000托/毫巴INFICONSKYCDG025D電容隔片真空計系列的高精度溫度補償型壓力計可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定性能
INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計系列的高精度 溫度補償型壓力計可以在惡劣的 生產加工環境中提供穩定性能。 高級數字電子元件用于改進 真空計的性能，具有一鍵調零功能 和設定點調整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供 優異的零點穩定性， 預期使用壽命長達數百萬次壓力循環（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請）用于保護 真空計，使其免受加工污染。 堅固的機械設計和數字 電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度 補償。 CDG025D 電容隔片真空計為開機后快速穩定 以及從大氣氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
電源接通后快速穩定
暴露于大氣壓后快速恢復
防腐陶瓷傳感器
的長期信號穩定性
溫度補償
傳感器防污染保護
一鍵調零功能
電源范圍廣
用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
數據存儲和顯示制造設備
工業真空設備
常規高精度壓力測量
| 類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 溫度效應 | ||||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 壓力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反應時間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Z低讀數 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的Z低讀數 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的Z低控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||||
| 運行（環境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法蘭處烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
| 功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 保護等級 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| 標準 | ||||||
| CE 合規 | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| 電氣連接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 設定點 (4) | ||||||
| 設定點數量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | |
| 內部容積 | ||||||
| 1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| 8 VCR® | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| 重量 | ||||||
| 1/2'' 管 | g | |||||
| DN 16 ISO KF | g | |||||
| DN 16 CF-R | g | |||||
| 8 VCR® | g | |||||
(1) 25 °C 環境溫度時非線性、滯后、可重復，運行 2 小時后不產生溫度效應。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 非運行
(4) 僅適用于 CDG025D-S
(5) 28% 鎳、23% 鈷、49% 鐵
(6) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵
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