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行業(yè)產(chǎn)品

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昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司


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SKY® CDG045D電容膜片真空計(jì)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：張小力查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-09 07:48:21瀏覽次數(shù)：140次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：183條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：張小力 （銷(xiāo)售部經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SKY®CDG045D0.05...1000Torr/mbarINFICONSKYCDG045D壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)高精確總壓測(cè)量與控制的理想之選

詳細(xì)介紹

SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)高精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG045D 真空計(jì)溫度控制在 45 °C，具有的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的線(xiàn)性壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的真空應(yīng)用。

CDGxxxD tiba34_35.png

益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

  • 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

  • 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

  • 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)

  • 兩年保修服務(wù)，的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命

  • 的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是Z嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

  • 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程

  • 化學(xué)和腐蝕性真空過(guò)程

  • 一般薄膜和真空過(guò)程

  • 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測(cè)試儀器是否符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

  • 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測(cè)量可追溯性

新聞

現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！

規(guī)格

類(lèi)型1000 Torr, 1100 mbar500 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.150.150.15
溫度效應(yīng)


零點(diǎn)percent FS/°C0.00250.00250.005
滿(mǎn)量程% of reading / °C0.010.010.01
壓力，Z大kPa (absolute)400260130
分辨率percent FS0.0030.0030.003
Z低讀數(shù)percent FS0.010.010.01
建議的Z低讀數(shù)percent FS0.050.050.05
建議的Z低控制壓力percent FS0.50.50.5
溫度


運(yùn)行（環(huán)境）°C+10 … +40+10 … +40+10 … +40
在法蘭處烘烤°C≤110≤110≤110
貯存°C–20 … +65–20 … +65–20 … +65
電源電壓
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗


加熱時(shí)W≤12≤12≤12
運(yùn)行溫度W≤8≤8≤8
輸出信號(hào)（模擬）V (dc)0 … +100 … +100 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2)ms3030130 / 30 (3)
保護(hù)等級(jí)
IP 40IP 40IP 40
標(biāo)準(zhǔn)


CE 合規(guī)
EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證
UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)
SEMI S2SEMI S2SEMI S2
電氣連接
D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
設(shè)定點(diǎn)


設(shè)定點(diǎn)數(shù)量
2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn)≤30≤30≤30
滯后percent FS111
診斷端口


協(xié)議
RS232-CRS232-CRS232-C
讀數(shù)
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
設(shè)置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
內(nèi)部容積


內(nèi)部容積 1/2'' 管cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KFcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-Rcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR®cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
重量


重量 1/2'' 管g837837837
重量 DN 16 ISO KFg852852852
重量 DN 16 CF-Rg875875875
重量 8 VCR®g897897897
EtherCAT


協(xié)議 EtherCAT
protocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn)
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點(diǎn)地址
Explicit Device IdentificationExplicit Device IdentificationExplicit Device Identification
物理層
100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過(guò)程數(shù)據(jù)
Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)
SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜
shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)
DeviceNet™


協(xié)議
DeviceNet™, group 2 slave onlyDeviceNet™, group 2 slave onlyDeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率kBaud125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)500 (1650)500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbpsm (ft.)250 (825)250 (825)250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbpsm (ft.)100 (330)100 (330)100 (330)
MAC ID
address 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
技術(shù)規(guī)格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
設(shè)備類(lèi)型
''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge
I / O 從屬傳訊
polling onlypolling onlypolling only
真空計(jì) D 型連接器的電源電壓
+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓
24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 連接器
microstyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, male
CDG（模擬輸出、CDG 電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器
D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male
Profibus DP


波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
address 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 連接器
D-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器
D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male

(1) 非線(xiàn)性，遲滯，在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性，2 小時(shí)工作后無(wú)溫度影響。

(2) 提高 10 … 90 % FS  

(3) 僅適用于壓力控制型

(4) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

零件號(hào)

CDG045D PIM 2016_04_18.png



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