HPG400 大氣壓至高真空真空計

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產品簡介

HPG400大氣壓至高真空真空計INFICON高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經濟的裝置中，可測量2×10-6毫巴至大氣壓（1.5×10-6托至大氣壓）范圍內的壓力

詳細介紹

HPG400 大氣壓至高真空真空計

HPG400皮拉尼高壓熱離子真空計.jpg

INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經濟的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內的壓力。 HPG400 型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。

益處

HPG400 可節省成本和工具空間，降低真空系統安裝與設置的復雜性
高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內的壓力，進而改善過程控制
用戶可選的熱離子發射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
RoHS 合規

典型應用

半導體制造、電子和媒介產業中的濺射應用
工業鍍膜
低真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

類型		HPG400
測量范圍（空氣，N2）		2×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 (1)
可重復性
10-5 … 10-1 毫巴	% of reading	2
10-1 … 100 毫巴	% of reading	30
熱離子發射，可選：
選購件 1	mbar	1
選購件 2	mbar	5×10-1
選購件 3	mbar	2×10-1
選購件 4	mbar	1×10-1
選購件 5	mbar	5×10-2
壓力，Z大	bar (absolute)	2
溫度
運行（環境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設備	°C	150
電源電壓		20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10.2
測量范圍熱陰極	V	1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼	V	8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極	volts per decade	1
電壓與壓強皮拉尼	volts per decade	0.25
錯誤信號熱陰極	V	0.3
錯誤信號皮拉尼	V	0.5
Z小負載電阻	k?	10
接口（數字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度，Z大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF	g	430 / 695
保護等級		IP30
DeviceNet™
協議		DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網絡規模		up to 64 nodes per segment
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	2×10-6 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
DeviceNet™ 電源電壓		11 … 25
真空計電源電壓	V (dc)	20 … 28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
HPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器：設定點數量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	2×10-6 … 100
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
HPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male

(1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值

(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現場總線

(3) 適用于 RS232C 運行 <30m

零件號

HPG400
零件號	明細
353-520	皮拉尼真空計
354-486	HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F