PIEZOSYSTEM分辨率定位器TRITOR 100

產(chǎn)品型號(hào)：TRITOR 100

產(chǎn)品介紹：

TRITOR 100尺寸為40 x 40 x34 mm，如立方體和每軸100μm的平行XYZ運(yùn)動(dòng)范圍，使其成為市場(chǎng)上小尺寸的3D壓電平臺(tái)之一。壓電元件TRITOR 100構(gòu)造成立方體，具有頂板和底板。 通孔用于固定定位系統(tǒng)，這對(duì)于所有動(dòng)態(tài)應(yīng)用都很重要。在頂板上有幾個(gè)銷孔和螺紋孔，用于安裝外部組件。三維壓電元件采用可靠的壓電堆疊執(zhí)行器構(gòu)建，具有柔性絕緣，非常適合高動(dòng)態(tài)負(fù)載。三軸壓電定位器TRITOR系列結(jié)合了高剛度和運(yùn)動(dòng)直線度，是纖維校準(zhǔn)，激光技術(shù)和許多其他微定位任務(wù)的納米級(jí)高精度定位的理想解決方案。

性能特點(diǎn)

高度緊湊的設(shè)計(jì)帶來(lái)更好的性能

平行四邊形設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的平行運(yùn)動(dòng)

固態(tài)鉸鏈帶來(lái)高可靠性

沒(méi)有機(jī)械間隙的運(yùn)動(dòng)

nm和小于1nm范圍內(nèi)的高分辨率

運(yùn)動(dòng)高達(dá)100μm

精密針孔

產(chǎn)品尺寸

尺寸：40 x 40 x 34毫米

產(chǎn)品應(yīng)用

AFM 和 SFM 顯微鏡

光纖對(duì)齊

光束轉(zhuǎn)向/光學(xué)技術(shù)

半導(dǎo)體技術(shù)

參數(shù)：

型號(hào)：TRITOR 100

開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)（±10％）：100μm

每軸的電容：1.8μF

分辨率：0.2nm

共振頻率x/y/z：500/550/480 Hz

剛度：1/1/1 N/μm

力（max.）生成x/y/z

拉力：10/10/10 N

推力：100/100/100 N

電壓范圍：-20...+130 V

電纜長(zhǎng)度：1.2m

尺寸（L×W×H）：40×40×34mm

重量：165g