壓力傳感器是工業實踐中最為常用的一種傳感器,傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量重,不能提供電學輸出,所以被最常應用在工業領域中。
壓力傳感器的種類很多,根據不同的分類標準可以分成不同種類。其中比較常見的有:1.擴散硅式壓力傳感器、2.電容式壓力傳感器。
1.擴散硅式壓力傳感器。它的工作原理是基于壓阻效應,利用壓阻效應原理,被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
它的特點是體積小、重量輕,性能穩定,適合制作小量程的變送器,主要應用于過程控制系統、壓力校準儀器、液壓系統、生物醫藥儀器、液壓系統及閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC 控制等行業。
2.電容式壓力傳感器。它是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。
它具有輸入能量低,高動態響應,自然效應小,環境適應性好等特點。其中,陶瓷電容壓力傳感器因其耐腐蝕、抗沖擊、無遲滯、介質兼容性強等優勢可以廣泛應用在水、氣、液多種介質的壓力檢測。