晶圓防爆真空固化爐

品牌：GYPEX英鵬
型號：ZK-固化系列
價格：電議/面議

產品用途：

    本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的設備，烘箱溫度可達450℃

性能特點：

1.真空度可達10 Pa

2.精體內氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測接口

3.日本優易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4.內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作

型號   ZK-固化系列                                 

內箱尺寸（H*W*D) :     20*20*40           ;30*30*60

控溫范圍:　RT+20℃~450℃

溫度波動:±0.5℃

真空度:10pa

氧含量:20ppm

內箱材質:SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質:鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料:硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護裝置:聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp

功       率:　9.0    12.0

電       源:AC380V±10%3中50HZ