傳感器和檢測儀表的發(fā)展趨勢
近年來，傳感器正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉型的發(fā)展階段。新型傳感器的特點是微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡化，它不僅促進了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造，而且可導致建立新型工業(yè)和軍事變革，是21世紀新的經(jīng)濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術基礎上的，目前已成功應用在硅器件上形成硅壓力傳感器（如上述EJX變送器）。微電子機械加工技術，包括體微機械加工技術、表面微機械加工技術、L1GA技術（X光深層光刻、微電鑄和微復制技術）、激光微加工技術和微型封裝技術等。MEMS的發(fā)展，把傳感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。傳感器和檢測儀表，在微電子技術基礎上，內(nèi)置微處理器，或把微傳感器和微處理器及相關集成電路（運算放大器、A/D、D/A、存貯器、網(wǎng)絡通訊接口電路）等封裝在一起完成了數(shù)字化、智能化、網(wǎng)絡化、系統(tǒng)化。網(wǎng)絡化方面，目前主要是指采用多種現(xiàn)場總線和以太網(wǎng)（互聯(lián)網(wǎng)），這要按各行業(yè)的需求，選擇其中的一種或多種，近年內(nèi)流行的有FF、Profibus、CAN、LonWorks、AS-I、Interbus、TCP/IP等。
除MEMS外，新型傳感器的發(fā)展還有賴于新型敏感材料、敏感元件和納米技術，如新一代光纖傳感器、超導傳感器、焦平面陳列紅外探測器、生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、網(wǎng)絡化傳感器、智能傳感器、模糊傳感器、多功能傳感器等。
