超高真空主要用于表面研究、熱核反應、高能加速器、半導體研究、空間模擬等科學領域中。目前超高真空實用真空度可達10﹣12Pa。

超高真空系統都是根據工藝要求由用戶自行設計或委托制造廠商特殊加工制造的，很難買到適合用戶要求的成套超高真空機組。超高真空系統的選泵、選材、選閥門和選密封機構等要求嚴格；焊接加工和方法與常規不同；要求漏氣率和放氣漏比普通真空系統要低；抽真空時還要采用烘烤措施等。

那么這么一個超高真空系統在選泵的時候又有哪些注意事項呢？怎樣才是更適合的呢？今天就此問題簡單的說一下。

對超高真空系統使用的真空泵要求，除通常的選泵原則外，還有：

1、主泵極限真空要比真空裝置的工作真空高一個到一個半數量級，如工作真空選1×10﹣6Pa，那么泵的極限真空至少為1×10﹣7Pa;

2、在真空裝置的工作真空范圍內，真空泵要有足夠的抽速，以便排走裝置中的氣體;

3、主泵或者主泵入口到真空室排氣口的管道，冷阱、擋板、閥門等均能受250～450℃的烘烤;

4、主泵對被抽氣體有選擇性抽氣時，應配輔助泵聯合抽氣;

5、真空泵所用剛才應選用不銹鋼。

東莞市普諾克真空科技有限公司量身定制真空系統。普諾克在電子、半導體工業、制藥工業、實驗室裝置、鍍膜、太陽能、石油化工和其他工業領域，始終以；量身定制、穩定、安全可靠的真空解決方案、真空泵產品服務于廣大客戶。