真空系統嚴密性差的解決方法：進行真空衰減試驗，普諾克真空科技介紹兩種真空衰減試驗的方法:

(1)關閉抽真空系統的抽氣閥并確保關閉嚴實，每分鐘記錄:排汽壓力、排汽溫度。打開相應的抽真空系統的抽氣閥。進行實驗的時間一般為10~15min。根據經驗，通常的壓力上升的速度為0.1kPa/min,

(2)關閉抽真空系統的抽氣閥并確保關閉嚴實;記錄排汽壓力的實際數值;隔10~15 min后記錄一次數值;打開相應的抽真空氣系統的抽氣閥;測量達到原先的排汽壓力值所用的時間。達到原先的排汽壓力的時間，應是大約一半的真空衰減時間。

所有的測量方法都是以運行條件恒定不變為前提的，特別是供給空氣冷凝器的蒸汽量應是恒定不變的。如果系統的空氣泄漏率大于設計值，應用超聲波檢漏儀進行檢漏，所發現的漏點應盡快消除。

常用的排氣系統為油擴散泵排氣系統和渦輪分子泵排氣系統，主要組成為前級泵(機械泵、羅茨真空泵等)粗抽，然后利用主泵(油擴散泵、分子泵等)，配置必要的真空管道、一定高真空閥門、所需的真空計(電阻真空計、電離真空計、B-A真空計等〕把真空度抽至高真空。當利用油擴散泵時，還需要加一擋油阱，防止泵油對真空器件內部系統的污染，排氣結束后，真空度能達到10-6pa，可以滿足微波管的使用要求。為了提高微波管排氣時的真空度，減少在后工序的放氣量，我們利用濺射離子泵對微波管的排氣，排氣結束后真空度可以達到2x10-7Pa。排氣結束后，微波管和排氣系統進行冷封離，在封離過程中機械擠壓使金屬零件放氣，同時微波管在放置一段時間后，由于其本身的高真空，內部材料會進行放氣，從而降低了管內的真空度.這時我們利用了一種小離子泵(俗稱鈦泵)保證內部的真空度，同時在微波管老煉、測試等工序中，管內零件經過高速電子束的轟擊會產生放氣，需要鈦泵進行抽除. 鈦泵的電流還具有檢測微波管內部真空度的作用.真空系統嚴密性差是一個普遍存在的問題，空冷機組的真空容積龐大、安裝焊口多容易造成真空系統泄漏量大，從而影響空冷機組真空系統的嚴密性，導致機組運行背壓升高、煤耗增大、帶負荷的能力降低。