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電子工業是VOCs排放的主要行業之一,電子工業廢氣VOCs排放種類多,組分復雜。一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體等。
低溫等離子分解廢氣處理器工作原理:1、利用特制的高能UV紫外線光束照射惡廢氣體,裂解惡廢氣體的分子鍵,降解轉變為低分子化學物,如二氧化碳和水等物質。
2、利用高能臭氧分解空氣中的氧分子產生游離氧,即活性氧,因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合,進而產生臭氧,使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。如CO2、H2O 等。 UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
3、高效除惡臭:能高效去除揮發性有機物(VOC)及各種惡臭味,脫臭效率zui高可達99%以上。
4、無需添加任何物質:只需要設置相應的排風管道和排風動力。濟寧鄒城電子工業vocs廢氣酸性煙氣處理 電子工業vocs煙氣處理
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