真空室鍍膜指紋顯現(xiàn)柜

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：

A:真空室

A1間歇式馬蹄形前開啟門

1. 真空腔體材質(zhì)，SUS34L不銹鋼板
2. 真空腔體表面、內(nèi)外拋光電解處理
3. 真空腔體尺寸：450x450 x400mm
4. 14寸強化玻璃觀測窗，內(nèi)部含有方形防鍍玻璃
5. 腔體內(nèi)部不銹鋼防污襯板
6. 腔體粉底烤漆支架

真空室鍍膜指紋顯現(xiàn)柜

B1鍍膜腔體全領(lǐng)域冷陰極真空計

1、真空測量范圍：1000to 5*109torr

2、法蘭形式接頭

3、操作接口：RS232 1/0

4、B2 鍍膜腔體電容式真空計

5、真空測量范圍：1torr 全尺寸范圍

6、法蘭接頭：NW25

1. 精確度：0.5%
2. 分辨精確度：0.001%
3. 壓力限制45Psig

10、輸入功率：+/-15VDC/35MA

11、輸出信號：0---10VCD/10歐姆

12、B3擴散泵抽氣管路真空壓力偵測計

14、額定壓力范圍：0.0—101.3千帕

15、操作/設(shè)定壓力范圍：10.0to—103千帕

16、zui大承受壓力：500千帕

17、電源壓力：12to24伏直流電

18、電源消耗≤55Ma

19、NPN集電極開路2路輸出+模擬輸出
 

C：閥門

1、14寸高真空氣動式主閥門

1. 腔體氣動式粗抽閥
2. 腔體氣動式前級閥
3. 機械泵自動泄氣閥
4. 腔體氣動泄氣閥

6、鋅氣動閥+針閥調(diào)整器

D：金、鋅蒸發(fā)源

1、兩個熱電源開關(guān)分別為：220-7.5V，350A

2、10轉(zhuǎn)精密輸出控制輸出功率

3、4—1/2數(shù)字顯示表

4、可程序控制溫度，來控制是否揮發(fā)金和鋅

E：膜厚計

1. 測量速度：0.1 秒
2. 速率顯示分辨率：0.02AL
3. 多功能LED和LCE顯示屏
4. 變量：6參量每秒
5. 操作接口：RS-232

F 載臺:

1. 半圓柱可抽取上掀載臺450*400mm

2. 公轉(zhuǎn)載臺及調(diào)速裝置5—20轉(zhuǎn)速

G：冰水機

1. 冷凍能力：12000熱量/小時
2. 誰泵浦馬力：0.5
3. 水流速率：30（L/MIN）
4. 水箱容量：26L
5. 冷媒：R134A

H：軟件功能

1. PLC可程序邏輯控制器及12寸彩色觸控式人機屏幕
2. 系統(tǒng)控制接口具有參數(shù)設(shè)定，系統(tǒng)履歷，異常訊息，系統(tǒng)權(quán)限登入，自編參數(shù)設(shè)定，自動/手動抽氣控制等功能選項,所有閥門幫浦互鎖安全保護
3. 系統(tǒng)控制權(quán)限設(shè)定具有低階,中階,高階三種權(quán)限模式,分別以不同的操作方式來操作系統(tǒng)

4、系統(tǒng)參數(shù)設(shè)定具有系統(tǒng)控制權(quán)限密碼功能設(shè)定,各式閥門延遲開啟,關(guān)閉時間,設(shè)定及各項異常狀況偵測狀態(tài)功能警示設(shè)定