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傾斜檢測主要標準：偏置穩定度、失調溫漂、低噪聲、可重復性、振動校正、跨軸靈敏度。對MEMS電容式加速度計而言，精確的傾斜檢測是一種要求頗高的應用，尤其是在有振動的情況下。在動態環境中利用MEMS電容式加速度計實現0.1°的傾斜精度非常困難——1°較易實現。為使加速度計有效測量傾斜度，必須對傳感器性能和終端應用環境有很好的了解。相比于動態環境，靜態環境對傾斜測量更加有利，因為振動或沖擊可能會破壞傾斜數據，引起嚴重測量誤差。傾斜測量的重要特性有溫度系數失調、遲滯、低噪聲、短期/*穩定性、可重復性和良好的振動校正。
0g偏置精度、焊接引起的0g偏置漂移、PCB外殼對準引起的0g偏置漂移、0g偏置溫度系數、靈敏準確度和溫度系數、非線性度以及跨軸靈敏度等誤差，是可以觀測到的，并且可以通過裝配后校準流程加以降低。遲滯、使用壽命期間的0g偏置漂移、使用壽命期間的靈敏度漂移、潮濕引起的0g漂移，以及溫度隨時間變化引起的PCB彎曲和扭轉等等，這些誤差項無法通過校準或其他方法解決，需要通過一定程度的原位維修才能減少。
