鋁酸鎂鈧（ScMgAlO4）薄膜基片晶體
ScAlMgO4晶體是近發展起來的一種GaN和ZnO異質外延用的襯底材料，是目前與GaN和ZnO晶格失配小的襯底材料。ScAlMgO4晶體屬于六方晶系，晶格常數a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面體層狀結構，與纖鋅礦氮化物和氧化鋅的結構相似。
ScAlMgO4是一種與GaN和ZnO 晶格常數和結構匹配的襯底材料（表1）。它與GaN的晶格失配率約為1.8%，與ZnO的晶格失配率為0.09%，a軸的熱膨脹系數為6.2×10-6/℃，c軸的熱膨脹系數為12.2×10-6/℃，與GaN、ZnO外延薄膜之間的熱膨脹系數失配比傳統的藍寶石和硅等襯底好的多。
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yyp2021.6.24
鋁酸鎂鈧（ScMgAlO4）薄膜基片晶體
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