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InAs單晶基片材料

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更新時間:2021-06-24 15:51:15瀏覽次數:174次

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InAs單晶基片材料
InAs 單晶為襯底可以生長 InAsSb/In-AsPSb,InNAsSb等異質結材料,制作波長 2~14μm的紅外發光器件,用 InAs單晶襯底還可以外延生長AlGaSb晶格結構材料 ,制作中紅外量子級聯激光器。

InAs單晶基片材料

 

 InAs 單晶為襯底可以生長 InAsSb/InAsPSb,InNAsSb等異質結材料,制作波長 214μm的紅外發光器件,用 InAs單晶襯底還可以外延生長AlGaSb晶格結構材料 ,制作中紅外量子級聯激光器。

 

InAs單晶基片

 

InAs 單晶為襯底可以生長 InAsSb/InAsPSb,InNAsSb等異質結材料,制作波長 214μm的紅外發光器件,用 InAs單晶襯底還可以外延生長AlGaSb晶格結構材料 ,制作中紅外量子級聯激光器。.這些紅外器件在氣體監測、低損耗光纖通信等領域有的應用前景.此外, InAs 單晶具有很高的電子遷移率 ,是一種制作 Hall 器件的材料。作為單晶襯底 , InAs 材料需要具備低的位錯密度、 的晶格完整性、 合適的電學參數和較高的均勻性. InP單晶材料的主要生長方法是傳統液封直拉(LEC)。

晶體

結構

晶向

熔點

oC

密度

g/cm3

禁帶寬度

 

InAs

立方,

a=6.058 A

<100>

942

5.66

0.45

 

 

 

 

主要性能參數

單晶

摻雜

導電類型

載流子濃度

cm-3

遷移率(cm2/V.s)

位錯密度(cm-2)

標準基片

InAs

本征

N     

     5*1016

2*104

<5*104

Φ2″×0.5mm

Φ3″×0.5mm

InAs

Sn

N

(5-20)*1017

>2000

<5*104

Φ2″×0.5mm

Φ3″×0.5mm

InAs

Zn

P

(1-20) *1017

100-300

<5*104

Φ2″×0.5mm

Φ3″×0.5mm

InAs

S

N

(1-10)*1017

>2000

<5*104

Φ2″×0.5mm

Φ3″×0.5mm

尺寸(mm)

Dia50.8x0.5mm,10×10×0.5mm、10×5×0.5mm可按照客戶需求,定制方向和尺寸的襯底

表面粗糙度

Surface roughness(Ra):<=5A
可提供原子粒顯微鏡(AFM)檢測報告

拋光

單面或雙面

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yyp2021.6.24

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