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北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)FSM
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
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更新時(shí)間:2020-05-26 09:49:26瀏覽次數(shù):1077次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 智慧城市網(wǎng)薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x主要用于薄膜張應(yīng)力測(cè)試和薄膜壓應(yīng)力測(cè)試。測(cè)量范圍:1MPa-4000MPa,張應(yīng)力或壓應(yīng)力
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
薄膜沉積在基體以后,薄膜處于應(yīng)變狀態(tài),若以薄膜應(yīng)力造成基體彎曲形變的方向來(lái)區(qū)分,可將應(yīng)力分為拉應(yīng)力(tensile stress)和壓應(yīng)力(compressivestress),如圖一所示。拉應(yīng)力是當(dāng)膜受力向外伸張,基板向內(nèi)壓縮、膜表面下凹,薄膜因?yàn)橛欣瓚?yīng)力的作用,薄膜本身產(chǎn)生收縮的趨勢(shì),如果膜層的拉應(yīng)力超過(guò)薄膜的彈性限度,則薄膜就會(huì)破裂甚至剝離基體而翹起。壓應(yīng)力則呈相反的狀況,膜表面產(chǎn)生外凸的現(xiàn)象,在壓應(yīng)力的作用下,薄膜有向表面擴(kuò)張的趨勢(shì)。如果壓應(yīng)力到極*,則會(huì)使薄膜向基板內(nèi)側(cè)卷曲,導(dǎo)致膜層起泡。數(shù)學(xué)上表示方法為拉應(yīng)力一正號(hào)、亞應(yīng)力一負(fù)號(hào)。
造成薄膜應(yīng)力的主要來(lái)源有外應(yīng)力(external stress)、熱應(yīng)力(thermalstress)及內(nèi)應(yīng)力(intrinsic stress),其中,外應(yīng)力是由外力作用施加于薄膜所引起的。熱應(yīng)力是因?yàn)榛w與膜的熱膨脹系數(shù)相差太大而引起,此情形發(fā)生于制備薄膜基板的溫度,冷御至室溫取出而產(chǎn)生。內(nèi)應(yīng)力則是薄膜本身與基體材料的特性引起的,主要取決于薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和分子沉積缺陷等因素,所以薄膜彼此的界面及薄膜與基體邊界之相互作用就相常重要,道*控制于制備的參數(shù)與技術(shù)上,此為應(yīng)力的主要成因。
薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x主要用于薄膜張應(yīng)力測(cè)試和薄膜壓應(yīng)力測(cè)試。測(cè)量范圍:1MPa-4000MPa,張應(yīng)力或壓應(yīng)力,加熱功能~500℃。
主要技術(shù)指標(biāo)
1.測(cè)量范圍:1MPa-4000MPa,張應(yīng)力或壓應(yīng)力
2.測(cè)量原理:激光掃描無(wú)損害非接觸式測(cè)量
3.基片尺寸:8寸并向下兼容6、5、4、3、2英寸
4.加熱功能:~500℃
公司主要研發(fā)、制造和銷(xiāo)售的檢測(cè)儀器有:電壓擊穿試驗(yàn)儀、高壓漏電起痕試驗(yàn)儀、耐電弧試驗(yàn)儀、鐵電材料測(cè)試儀器、介電常數(shù)及介質(zhì)損耗測(cè)試儀、表面及體積電阻率測(cè)試儀、壓電材料測(cè)試儀器、熱電材料測(cè)試儀器、絕緣材料電性能檢測(cè)設(shè)備、高溫管式爐反射爐氣氛爐、高溫電性能測(cè)試設(shè)備、EST靜電檢測(cè)儀器、硅橡膠絕緣子行業(yè)測(cè)試設(shè)備、PCB三防漆電子材料測(cè)試、電氣薄膜電學(xué)檢測(cè)儀器、高低壓電氣材料測(cè)試設(shè)備、電線電纜行業(yè)電學(xué)測(cè)試設(shè)備、高分子材料電學(xué)測(cè)試儀器、熱分析儀器、電氣安規(guī)檢測(cè)儀器、半導(dǎo)體芯片類(lèi)測(cè)試儀器等,可接定制儀器訂單。
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