六氟化硫/凈化SF6氣體抽真空及回收裝置主要組成部件及其優點：

（1）設計*，功能齊全，結構合理，自動控制。
（2）壓縮系統：采用SF6無油封閉高壓壓縮機，無泄漏。
（3）抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回油裝置。
（4）過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，提純凈化效果更顯著，能高效去除空氣CF4等 (無需頻繁更換吸附劑)。
（5）裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
（6）裝置控制系統采用新技術的SF6閥門
（7）貯存系統按用戶要求配置250KG貯液罐。
（8）設備采用移動式。

六氟化硫/凈化SF6氣體抽真空及回收裝置裝置功能

1. 對裝置本機以及電器設備、貯罐、抽真空和真空度的測量

2. 對電器設備中的氣體進行回收

3. 對回收和回充的SF6氣體進行干燥、凈化處理

4. 對SF6電器進行充氣

5. 對電器中SF6氣體進行壓縮液態貯存

流程說明：

 1、SF6氣體的回收

當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。

2、SF6開關抽真空

通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。

3、充氣

經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行:

1、借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。

2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。

主要技術性能指標：

1、裝置極限真空度<10Pa

2、裝置抽真空速率55--110m3/h (真空泵極限真空度小于0.06Pa)

3、裝置充氣初壓力<133 Pa(用戶要求自定)

4、裝置充氣終壓力≤0.8M Pa
5、裝置充氣速率>20m3/h
6、裝置回收初壓力≤0.8M Pa
7、裝置回收終壓力<5000Pa
8、裝置回收壓縮機速率20m3/h
9、裝置年泄漏率<1%
10、裝置貯罐設計壓力4.5M Pa
11、貯罐容積250KG（含 充氣加熱/ 液位顯示）
12、外形尺寸約1850mm×1200mm×1700mm
13、貯存方式：液態、氣態
14、噪聲≤75dB聲壓級
15、干燥過濾器再生方式：真空再生加熱活化處理
16、電源：交流三相380V±10%、50HZ
17、裝置總功率<16KW
18、裝置重量：1180公斤
19、凈化：微水10PPm，油份5PPm，微塵≤1微米