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　　PI的壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺將亞納米級分辨率和導(dǎo)向精度以小串?dāng)_相結(jié)合。這使得其特別適用于計量學(xué)中的應(yīng)用、超高分辨率顯微鏡、干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的檢測系統(tǒng)。壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺可用于毫秒穩(wěn)定精密定位和動態(tài)掃描，頻率高達(dá)幾百赫茲，多達(dá)六自由度。
 

　　擁有zhuan 利的傳感器設(shè)計、無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向和長使用壽命的PICMA®壓電陶瓷促動器*地組合在一起，帶來了優(yōu)異、堅實的機械部件。壓電陶瓷運動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，可通過數(shù)字或模擬接口和輕松編程實現(xiàn)簡易集成。
 

　　壓電柔性鉸鏈傾斜鏡
 

　　壓電陶瓷柔性鉸鏈鏡面平臺的高剛性可實現(xiàn)高動態(tài)性和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。該緊湊型設(shè)備常用于激光加工和激光控制中的射束偏轉(zhuǎn)。在一個固定的公共樞軸點及偏振方向無變化的的情況下，其并聯(lián)設(shè)計使傾斜軸上的性能*。
 

　　高速偏擺鏡結(jié)合zui高動態(tài)和緊湊設(shè)計
 

　　光束偏轉(zhuǎn)達(dá)4.4毫弧度
 

　　亞毫弧度級分辨率
 

　　亞微秒級響應(yīng)時間
 

　　無摩擦、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
 

　　包含BK7反射鏡
 

　　可選配位置傳感器
 

　　PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命