PI (Physik Instrumente)線性促動器

　　PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 因此，PI可以將這些解決方案應(yīng)用于客戶特定應(yīng)用，或者提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

　　PI是技術(shù)的以運動為中心的解決方案的供應(yīng)商，因此使用專有的驅(qū)動組件和高精度定位器。 所有級別的集成都可以達到使用不同驅(qū)動技術(shù)(包括運動控制)的多軸組合。

　　多年來，運動子系統(tǒng)的工程設(shè)計一直是PI核心業(yè)務(wù)的一部分。 定制解決方案，無縫融入現(xiàn)有流程，推動芯片生產(chǎn)或光子封裝制造和檢測流程的自動化以及主要研究設(shè)施。

　　精密部件是高質(zhì)量多軸設(shè)計的基礎(chǔ)

　　成功的關(guān)鍵是PI Group的全部知識和經(jīng)驗。 通過一家供應(yīng)商提供的廣泛標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品組合，可輕松實現(xiàn)定制解決方案。 PI提供系統(tǒng)的所有組件并配置多軸結(jié)構(gòu)。

　　長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　?工業(yè)級精度定位

　　?半導(dǎo)體技術(shù)

　　?半導(dǎo)體測試

　　?晶圓檢測

　　?平版印刷術(shù)

　　?納米壓印

　　?納米測量

　　?強磁場和真空中運動

　　采用PiezoWalk步進驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進給力

　　數(shù)個壓電陶瓷促動器在

　　PiezoWalk步進驅(qū)動中執(zhí)行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分

　　辨率進行小步進和推進運動。

　　增量

　　編碼器用于高精度位置測量

　　非接觸式光學(xué)

　　編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

　　適用于復(fù)雜真空應(yīng)用PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅(qū)動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

　　規(guī)格

　　N-216.101 / N

　　-216.1A1N

　　-216.201 / N

　　-216.2A1

　　公差N-216NEXLINE

　　線性促動器

　　?力量生成達600牛

　　?保持力達800牛

　　?行程20毫米

　　?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

　　訂購信息

　　N-216.101

　　NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，開環(huán)

　　N-216.1A1

　　NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

　　N-216.201

　　NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，開環(huán)

　　N-216.2A1

　　NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率 

PI (Physik Instrumente)線性促動器