工作原理:
數字式真空計設備按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
數字式真空計設備性能特點:
●數字式真空計兩個被檢表接頭處設計有兩個截止閥,截止閥能及時關閉被檢系統之間的壓力。由于活塞式真空壓力計在加減砝碼時,必須減壓將活塞降下來,而被檢精密壓力表、壓力變送器、傳感器等和系統之間若不能被截止,表中的壓力會隨著活塞升降而升降,則考核不出被檢表的回程誤差,就不能符合精密壓力表、壓力變送器、壓力傳感器等檢定規程的要求和耐壓檢定的要求。
● 活塞和活塞筒經精工研磨,其圓度誤差和間隙極小,因而*的提高活塞轉動延續時間,也就相應減小活塞下降速度,提高活塞鑒別力。
●砝碼已經進行壓力形變系數和當地重力加速度的修正。
●數字式真空計特意設計的壓力轉換閥,在關閉時,可不用砝碼單獨工作,即活塞壓力計臺子可作為壓力泵或壓力源獨立使用。