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北京銳潔機器人科技有限公司


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伯努利吸筆

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

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更新時間：2019-11-07 14:18:30瀏覽次數：1564次

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產品簡介

伯努利吸筆利用伯努利原理能夠吸附減薄晶圓輕盈，小巧由于不屬于真空吸附，能夠降低晶圓破損的風險至低

詳細介紹

伯努利吸筆利用伯努利原理能夠吸附減薄晶圓輕盈，小巧由于不屬于真空吸附，能夠降低晶圓破損的風險至低，廣受設備廠商好評的產品，可吸附厚度80微米的減薄晶圓

伯努利吸筆

  • 吸筆前端能夠自由活動不但能夠應對水平擺放的晶圓，還能夠從晶圓片盒，晶圓Cassette中取放晶圓片 
    同時還可以用于晶圓之外的各種物體的搬運
  • 利用旋風效應吸附晶圓,吸盤不需要和晶圓*接觸
  • 和被吸附物接觸的吸盤墊片（材質：氟橡膠）能夠緩沖吸附過程中的沖擊力，并且不需要夾持被吸附物的邊緣
  • 前端吸盤模塊和本體之間使用了可調節的軟管結構，作業員能夠任意地調節吸盤和本體之間的相對角度

    應用設備實例

    半導體后道工序生產工廠

    規格

    被搬運物2, 3寸, 100～150 mm
    可為客戶定制適用于200 mm，300 mm晶圓的產品
    材質鋁合金（前端）
    表面處理旋風吸盤：黑色陽極氧化處理
    前端其他部分：白色陽極氧化處理
    晶圓吸附方式利用旋風吸盤提供吸力并利用氟橡膠材
    質的墊片保持晶圓和吸盤之間的相對位置
    允許搬運重量50 g以下
    使用氣體潔凈空氣，N2
    供給壓力0.3 MPa以下（吸筆本體的入口處）
    氣體流量大15 L/min
    質量110 g


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