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伯努利機械手指(接觸式)

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更新時間:2019-11-07 14:18:31瀏覽次數:5103次

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產品簡介

伯努利機械手指(接觸式)針對存在翹曲的晶圓,以及減薄晶圓設計的具有高性價比特點的伯努利原理機械手指
可以配套JEL所有類型的大氣搬運機械手臂使用

詳細介紹

伯努利機械手指(接觸式)針對存在翹曲的晶圓,以及減薄晶圓設計的具有高性價比特點的伯努利原理機械手指
可以配套JEL所有類型的大氣搬運機械手臂使用可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector,非常適合減薄晶圓,廣泛應用于半導體后道工序設備
通過使用晶圓樣品進行實際的驗證傳輸測試,可以按照客戶的需要,針對不同尺寸,翹曲量,晶圓厚度的任意形狀的晶圓進行機械手指的定制設計

伯努利機械手指(接觸式)

  • 利用伯努利原理的氣流壓力差吸附晶圓
  • 利用橡膠墊和晶圓之間的摩擦力,防止晶圓在傳輸過程中可能發生的位置偏移
  • 晶圓表面和機械手指的橡膠墊發生接觸,能夠同時對應不同規格的晶圓(※特殊情況的組合下,存在無法實現不同尺寸晶圓兼顧的情況),相對于非接觸式機械手指,接觸式機械手指的厚度可以做到更薄
  • 相對于真空吸附方式的手指,伯努利原理機械手指的吸附力會分散到整個晶圓表面,更適合用于減薄晶圓的傳輸


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