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SORTER SYSTEM傳輸平臺

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

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更新時間：2019-11-07 14:18:31瀏覽次數：1093次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：21條

所在地區：北京北京市

聯系人：經理 （經理）

產品簡介

SORTER SYSTEM傳輸平臺可實現400片/小時產率的高性能晶圓搬運系統，系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器

詳細介紹

SORTER SYSTEM傳輸平臺可實現400片/小時產率的高性能晶圓搬運系統，系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器；

應用設備實例

半導體生產線

SORTER SYSTEM傳輸平臺

  • 依據SEMI Standard標準(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • 校準器設有緩沖器功能, 使晶圓的更換成為可能, 實現了高吞吐量 (400片/h)
  • 搬運機械手采用路徑規劃方式, 無行走軸, 支持并列配置盒
  • 搬運機械手進行區域控制, 能夠順暢而快速地進行搬運
  • 配備ID閱讀器, 可以進行晶圓的ID讀取 (表里支持為選購件)

    規格

    對應片盒300 mm FOUP（25片）
    SEMI E47.1，E62標準品
    對應晶圓300 mm 硅片（厚度：775 µm）
    Throughput*400片/h
    潔凈度ISO標準 Class 2（FFU使用）
    外形尺寸*W1756xD1200xH1901
    重量*大約 600 kg
    廠務電源：AC200V±15% 20A
    干燥空氣：0.7 MPa to 0.4 MPa
    真空：優于-60 kPa

 


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