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行業(yè)產(chǎn)品

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SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：602次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。可用于LED行業(yè)藍(lán)寶石晶圓的搬運(yùn)。

詳細(xì)介紹

SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。可用于LED行業(yè)藍(lán)寶石晶圓的搬運(yùn)。

  • 高速，高精度地定位小尺寸晶圓（透明，半透明，硅片）的中心以及缺邊
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 相對舊型號SAL46C6，SAL4484縮減了大約50%的空間尺寸

    應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

    MOCVD設(shè)備；AOI設(shè)備

SAL3261GR晶圓對應(yīng)光學(xué)式校準(zhǔn)器

規(guī)格

被搬運(yùn)物SEMI規(guī)格 2, 3寸
100～150 mm硅片以及透明晶圓
*缺邊
位置確定所需時(shí)間定位晶圓中心：3 sec
位置精度晶圓中心：±0.2mm以內(nèi)
晶圓缺邊：±0.2度以內(nèi)
傳感器可視光半導(dǎo)體激光傳感器
晶圓尺寸切換命令控制方式或者通信方式
潔凈度ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
動力3軸使用2相步進(jìn)電機(jī), 電機(jī)控制器和脈沖發(fā)生器安裝在本體內(nèi)部
廠務(wù)電源：DC24V±10% 3A 真空：優(yōu)于-53 kPa


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