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4軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

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產品型號

品       牌

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更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數：1034次

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產品簡介

4軸圓柱坐標型潔凈機械手臂適用于液晶面板生產設備內部，檢測設備等的玻璃基板搬運
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運高度

詳細介紹

4軸圓柱坐標型潔凈機械手臂適用于液晶面板生產設備內部，檢測設備等的玻璃基板搬運
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運高度

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬運，雙手臂結構，玻璃基板搬運效率更高
 

  • 機械手臂標準臂長：400 mm，500 mm
  • Z軸（升降軸）標準長度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z軸超過760 mm以上為多段式，實物和照片的外觀不同）
  • 可搬運重量：手臂第3關節處基準15 kgf以下(400 mm，500 mm)
  • 雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板
  • 基板固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
  • 手指可以安裝多種傳感器（校準，有無，Mapping等）
  • 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優的手指
  •  

4軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

應用設備實例

AOI設備；液晶工廠內生產線
 

規格

被搬運物*730x920x1.1mm玻璃基板（具有代表性的標準尺寸）
 手臂旋轉升降
可動范圍*
（手臂第3關節中心基準）		875 mm330度600 mm
搬運速度 (平均速度)*1375 mm/1.8sec180度/1.8sec600 mm/1.7sec
精度*8.20µm以下0.0008度2.4 µm
搬運高度*271mm（法蘭安裝面到上手指的晶圓安裝面的高度）
重復性精度±0.2mm以內
潔凈度0.3µm/cf Class10（驅動結構內部獨立排氣的條件下）
廠務電源：3相AC200V±10% 3kVA  真空：優于-73kPa


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