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3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:33瀏覽次數(shù)：1967次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于液晶面板生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的玻璃基板搬運(yùn)
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運(yùn)高度

詳細(xì)介紹

3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于液晶面板生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的玻璃基板搬運(yùn)
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運(yùn)高度

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

AOI設(shè)備；液晶工廠內(nèi)生產(chǎn)線
 

規(guī)格

被搬運(yùn)物*730x920x1.1mm玻璃基板（具有代表性的標(biāo)準(zhǔn)尺寸）
 手臂旋轉(zhuǎn)升降
可動(dòng)范圍*
（被搬送物體中心到達(dá)距離）		1550 mm330度600 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)*1375 mm/1.8sec180度/1.5sec600 mm/1.7sec
精度*8.2 µm以下0.0008度2.4 µm以下
搬運(yùn)高度*217mm（法蘭安裝面到手指上的晶圓安裝面的高度）
重復(fù)性精度±0.2mm以內(nèi)
潔凈度0.3µm/cf Class10（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣的條件下）
廠務(wù)電源：単相AC200V±10% 3 kVA  真空：優(yōu)于-73kPa

*測(cè)試機(jī)型：LHR3400C-600-AM的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào) (被搬運(yùn)物體，以及手指形狀的不同上述測(cè)量結(jié)果會(huì)不同)

3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

特點(diǎn)

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬運(yùn)，Z軸大行程900 mm
 

  • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：400 mm，500 mm，700 mm
  • Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm，1500 mm（Z軸400 mm，500 mm，600 mm為單段式，實(shí)物和照片有區(qū)別）
  • 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)15 kgf以下(400 mm，500 mm)
                       手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)40 kgf以下(700 mm)
  • 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
  • 配備動(dòng)作監(jiān)視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
  • S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板
  • 基板固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 手指可以安裝多種傳感器（校準(zhǔn)，有無，Mapping等）
  • 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)的手指


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