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真空潔凈機(jī)械手臂

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:33瀏覽次數(shù)：724次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空潔凈機(jī)械手臂可以使用在高真空環(huán)境里，能夠在真空環(huán)境下完成晶圓或者托盤(pán)等的傳輸。和大氣潔凈機(jī)械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機(jī)方式以及特種橡膠圈密封方式等。

詳細(xì)介紹

真空潔凈機(jī)械手臂可以使用在高真空環(huán)境里，能夠在真空環(huán)境下完成晶圓或者托盤(pán)等的傳輸。和大氣潔凈機(jī)械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機(jī)方式以及特種橡膠圈密封方式等。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機(jī)方式以及特種橡膠圈密封方式等。這幾種方式中，磁流體密封裝置的應(yīng)用較為廣泛，同時(shí)也被廣泛使用的特種橡膠圈密封裝置具有價(jià)格便宜，便于維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)，而真空電機(jī)方式為的真空動(dòng)力導(dǎo)入方式，具有潔凈度高，放氣量少的優(yōu)點(diǎn)。

真空潔凈機(jī)械手臂具有良好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)，做工精良，性能穩(wěn)定可靠，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，LED生產(chǎn)設(shè)備中的刻蝕設(shè)備，PVD設(shè)備以及CVD設(shè)備等。已經(jīng)成功進(jìn)入了中國(guó)大陸市場(chǎng)，獲得了中國(guó)客戶的*認(rèn)可。在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備上的實(shí)際應(yīng)用案例。位于真空腔室的*，通過(guò)真空機(jī)械手臂自帶的安裝法蘭和真空腔室對(duì)接。真空機(jī)械手臂的安裝法蘭和真空腔室之間一般使用氟橡膠O型圈來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封，特殊的情況也可以使用金屬密封圈。金屬密封圈適用于高溫或者高真空環(huán)境，但是也會(huì)帶來(lái)安裝和維護(hù)方面的難度。


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