美國sensaras晟爾斯PLS960多點超聲波液位開關PLS960
多點超聲波液位開關PLS960簡介
美國sensaras晟爾斯多點超聲波開關PLS960介紹
超聲波侵入式多點液位系統主要用于半導體工業中PVD、
CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內高純度化
學品液位的高精度和高可靠性的測量。
液位系統在化學氣相沉積過程中至關重要，如ALD，CVD，
PVD等半導體晶圓制造過程。

詳細介紹

美國sensaras晟爾斯PLS960多點超聲波液位開關PLS960美國sensaras晟爾斯PLS960多點超聲波液位開關PLS960
多點超聲波液位開關PLS960簡介
美國sensaras晟爾斯多點超聲波開關PLS960介紹
超聲波侵入式多點液位系統主要用于半導體工業中PVD、
CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內高純度化
學品液位的高精度和高可靠性的測量。
液位系統在化學氣相沉積過程中至關重要，如ALD，CVD，
PVD等半導體晶圓制造過程。
PLS960系列多點液位系統用于檢測非常昂貴的超高純度化
學品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、
DECT、TCA和金屬化初級粒子等）的準確數量，減少化學廢
物，增加產量和利潤。
通過超聲波回波處理技術檢測液體在容器中的存在狀態
不受被測物的介電常數、顏色、密度和粘度等參數影響
探頭采用316L 不繡鋼材質，通過½”或¾” VCR與容器連接
探頭采用套筒式或叉式結構一體式設計，無可動部件
模塊與探頭分離，無需校準，易安裝
多點液位測量
高位/溢出報警
低位/停止、再進料
半導體行業和醫藥制藥行
??輸入： 24VDC
輸出: 每點1A SPDT
1A SPDT 報錯點、自動進料顯示
本地溫度顯示可選
可高達7點液位顯示和報錯顯示
對不同液體也無需校準
重復性: +/- 0.04”(1mm)（典型）
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗：250mA（典型）
材質： 316LS不銹鋼
3/4" VCR連接結構可達到7個液位檢測點
1/2" VCR連接結構可達到4個液位檢測點
多于7個點的檢測請與我們溝通，可定制達16個點。
K-type SLE 溫度傳感器（可選）
低液位檢測點可置于探頭末端向上5毫米
兩個液位檢測點小距離可為2.5毫米
長度 : 600毫米，若需更長與我們溝通
溫度: 0° to 125°C (標準)，達 160°C的定制請與我們溝通如按安裝指南正確安裝不能達到我們所達成的規格，在發貨日起45自然日內，Sensaras接受免費退換貨。產品保修期：自發貨之日起18個月。