LED封裝真空泵Edwards愛德華真空泵半導體zhong央真空系統應用介紹
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LED封裝工藝中,用到真空泵和空氣壓縮機,因為封裝工藝點粉灌膠水都要先抽真空,把氣泡排掉,所以要用真空泵;封裝的設備都是用氣壓驅動的,所以要用大匹的空壓機。
LED封裝真空應用,大部分仍在按傳統的思路采用干式小旋片泵,或者采用真空發生器,耗費昂貴的壓縮空氣。
Edwards愛德華iXH645H干泵,新設備經過優化,適用于LED制造中使用的MOCVD工藝,以及在柵堆疊中使用III-V材料的化合物半導體制造工藝。
iXH645H提供了高的氣流量,并能夠在LED制造設備所需的高負載下連續工作。iXH系列干泵采用的,大限度地減少維護需求,并實現正常運行時間大化,有助于降低成本。
LED和化合物半導體制造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣,具有出色的氫氣抽空性能并采用耐腐蝕設計,包括一個保護泵密封物的氮氣吹掃屏障。XH645泵具有高溫工作能力,有助于防止可能出現的磷化合物冷凝。另外,該泵的油潤滑和密封省去了定期保養需求,同時其散熱和電機設計可以防止出現過熱、電機過載或工作區域受限等問題。
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