3BSE078791R1 ABB

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設施保護系統對通信的高可靠性與實時性的要求，這些現場本地控制器不采用串行方式與設施保護系統通信，而使用0/24V開關信號直接受設施保護系統的控制。人機界面，則由美國費舍爾-羅斯蒙特（Fisher-Rosemount）公司的RS3集散控制系統完成。該集散控制系統既是設施保護系統的人機界面，又是控制處理流程的生產控制系統。出于安全性方面的考慮，生產控制系統不對設施保護系統進行任何控制，僅對設施保系統監視。

Nichias Tombo MH3-008390-D

Novellus 15-271403-00

               AMAT 30601350000

M.E.C. Tech MEC83306-1060L

AMAT 3700-01594

M.E.C. Tech MEC83306-1060P

M.E.C. Tech MEC81105-205L

Mattson 2411931

AMAT 3690-01186

AMAT 3690-01186

AMAT 1230-01019

Advanced Energy AE 3150273-005

AMAT 0020-15990

AMAT 0090-09057

AMAT 0150-09667

AMAT 3700-01387

AMAT 1200-01283, Watlow DA1C-1624-C000

AMAT 3300-02279, 423083-TY-PR0J

Nanometrics 7301-022965

AMAT 0200-09602

AMAT 0140-21236

MKS Instruments 100991861

Disco AK-BX501

Entegris E6-6TFN-1X, M9P828145

AMAT 0010-14922

AMAT 0010-30230

Disco MOENT062, Abosrber. 417140

Disco MODMS535-A, Kurida OCS-241

AMAT 3870-04760 Rev.00

Omron E5AX-VAA, E5AX-VAAAC10002?00