SF6氣體作為一種絕緣氣體，具有無毒、不可燃，以及良好的絕緣特性，其絕緣強度大大高于傳統的絕緣氣體，并具有良好的滅弧性，因此廣泛應用于SF6電器。由于SF6氣體價格昂貴，且在電弧、電火花和電暈放電的作用下，會分解產生有毒成份。因此SF6電器設備應用時需要將SF6氣體回收。本裝置就是為了制造和維修SF6電器設備時，回收和充加SF6氣體的一種設備。
該裝置是用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠運行科研等部門，對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體，同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐?；厥昭b置適用SF6電器及GIS組合電器等。SF6氣體回收裝置按照DL/T662-1999《六氟化硫充氣及回收裝置》標準，裝置由回收系統、充氣系統、抽真空系統、凈化系統、氣體貯存系統組成。
1、SF6氣體的回收
當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。
2、SF6開關抽真空
通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。
3、充氣
經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：
1、借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。
2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。
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