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JULABO溫度控制器可以保持產品溶解速度

由于反應伙伴溶解在蝕刻液中，其濃度也隨著加工晶片數量的增加而降低，這就是為什么必須定期更換的原因。除了濃度之外，蝕刻槽的溫度尤其對蝕刻速率有直接影響，因為隨著溫度的升高，化學溶液通常會變得更加反應。此外，溫度會影響反應產物的溶解速度。

蝕刻槽的溫度在半導體工業中起著核心作用。蝕刻槽的最小溫度偏差已經會產生災難性的后果，并使整個晶圓無法使用。因此，在濕化學加工中僅使用高精度和故障安全的溫度控制系統。它們必須能夠準確地將溫度保持在目標范圍內，并對溫度偏差做出快速反應。此外，更換蝕刻液時，它們必須快速恢復蝕刻槽的正確溫度，以確保恒定的生產流程。

蝕刻速率（每次材料去除率）必須知道最小的細節，并盡可能長時間地保持恒定，沈陽漢達森yyds吳亞男以實現納米范圍內的精度。此外，反應產物必須立即溶解，以免污染蝕刻液。

JULABO型號

CORIO CD-200F

恒溫器 PRESTO W40 

CORIO CP-450F

SW22, SW23, TW20

CORIO CD-B33

CF31

結論

完平衡的溫度控制系統不僅可以改善生產結果，還可以提高過程可靠性并減少生產時間、成本和維護。

看起來像堡壘的導電路徑的生產需要納米范圍內的絕對精度。為此，半導體生產中的許多工藝都必須精確控制溫度。在幾乎無限個單獨的步驟中，應用極薄的層，部分遮蓋，并以絕對精度去除未遮蔽的部件。蝕刻槽必須保持在最佳溫度范圍內，以保持濕化學工藝中的蝕刻速率恒定和可預測。這需要使用絕對精確和可靠的溫度控制解決方案，這些解決方案針對各自的應用領域進行了理想的校準。

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