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技術文章

JULABO溫度控制器可以保持產(chǎn)品溶解速度

閱讀:198          發(fā)布時間:2023-6-7

JULABO溫度控制器可以保持產(chǎn)品溶解速度

由于反應伙伴溶解在蝕刻液中,其濃度也隨著加工晶片數(shù)量的增加而降低,這就是為什么必須定期更換的原因。除了濃度之外,蝕刻槽的溫度尤其對蝕刻速率有直接影響,因為隨著溫度的升高,化學溶液通常會變得更加反應。此外,溫度會影響反應產(chǎn)物的溶解速度。

蝕刻槽的溫度在半導體工業(yè)中起著核心作用。蝕刻槽的最小溫度偏差已經(jīng)會產(chǎn)生災難性的后果,并使整個晶圓無法使用。因此,在濕化學加工中僅使用高精度和故障安全的溫度控制系統(tǒng)。它們必須能夠準確地將溫度保持在目標范圍內,并對溫度偏差做出快速反應。此外,更換蝕刻液時,它們必須快速恢復蝕刻槽的正確溫度,以確保恒定的生產(chǎn)流程。


蝕刻速率(每次材料去除率)必須知道最小的細節(jié),并盡可能長時間地保持恒定,沈陽漢達森yyds吳亞男以實現(xiàn)納米范圍內的精度。此外,反應產(chǎn)物必須立即溶解,以免污染蝕刻液。

julabo溫度控制器.png

JULABO型號

CORIO CD-200F

恒溫器 PRESTO W40 

CORIO CP-450F

SW22, SW23, TW20

CORIO CD-B33

CF31


結論

完平衡的溫度控制系統(tǒng)不僅可以改善生產(chǎn)結果,還可以提高過程可靠性并減少生產(chǎn)時間、成本和維護。

看起來像堡壘的導電路徑的生產(chǎn)需要納米范圍內的絕對精度。為此,半導體生產(chǎn)中的許多工藝都必須精確控制溫度。在幾乎無限個單獨的步驟中,應用極薄的層,部分遮蓋,并以絕對精度去除未遮蔽的部件。蝕刻槽必須保持在最佳溫度范圍內,以保持濕化學工藝中的蝕刻速率恒定和可預測。這需要使用絕對精確和可靠的溫度控制解決方案,這些解決方案針對各自的應用領域進行了理想的校準。

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