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傳統的超純水處理工藝為單級/兩級反滲透設備+混床。其缺點是需要再生,不能連續產水,不僅效率低,而且浪費資源。與傳統方法相比,超純水生產設備具有抗污染能力強、節能環保、產水水質穩定、脫鹽率高、系統無死水等優點。出水水質符合美國ASTM D5127電子及半導體業用純水水質TypeE-1.2,高于中國國家電子級超純水標準GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標準。
超純水生產設備采用預處理、反滲透技術、超凈化處理和后處理方法,幾乎*去除水中的導電介質,極低程度地去除水中的非游離膠體物質、氣體和有機物。超純水系統設備的淡化核心部件是反滲透膜組件。超純水系統設備通常由預處理部分、反滲透主機部分和后處理部分組成。
超純水生產設備具有出水連續、無酸堿再生、無人值守、安裝簡單、操作方便等優點。出水水質符合電池水相關標準。在我國集成電路出口增長趨勢下,超純水生產設備也將迎來新的發展機遇。