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上海明策電子科技有限公司


Optitherm lll

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更新時(shí)間:2021-12-31 12:27:41瀏覽次數(shù):217次

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經(jīng)營(yíng)模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:198條

所在地區(qū):上海上海

聯(lián)系人:余蘭 (客服)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在CVD、MBE和MOCVD反應(yīng)過(guò)程中,Optitherm lll發(fā)射率自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)光纖鏡頭和脈沖激光器可以準(zhǔn)確地測(cè)量單個(gè)或多個(gè)晶片的溫度。Optitherm lll 可以監(jiān)測(cè)著被測(cè)光潔材料的不斷變化的發(fā)射率,從而使得紅外測(cè)溫設(shè)備可以達(dá)到±3℃的精度。該主動(dòng)式測(cè)量技術(shù)不同于傳統(tǒng)的被動(dòng)式測(cè)量技術(shù)。

詳細(xì)介紹

    Optitherm lll發(fā)射率自動(dòng)測(cè)量?jī)x

    美國(guó)!


    簡(jiǎn)要描述:

    在CVD、MBE和MOCVD反應(yīng)過(guò)程中,Optitherm lll 發(fā)射率自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)光纖鏡頭和脈沖激光器可以準(zhǔn)確地測(cè)量單個(gè)或多個(gè)晶片的溫度 。

    Optitherm lll 可以監(jiān)測(cè)著被測(cè)光潔材料的不斷變化的發(fā)射率,從而使得紅外測(cè)溫設(shè)備可以達(dá)到±3℃的精度。該主動(dòng)式測(cè)量技術(shù)不同于傳統(tǒng)的被動(dòng)式測(cè)量技術(shù)。

    Optitherm lll 通過(guò)主動(dòng)式反射測(cè)量技術(shù)得到目標(biāo)的發(fā)射率(E%),從而得到目標(biāo)的實(shí)際溫度(Te)。當(dāng)接收測(cè)量紅外輻射時(shí),在同一時(shí)間,位置,波段自動(dòng)測(cè)量被測(cè)物光潔表面的反射,獲得準(zhǔn)確的實(shí)際溫度。微處理器以極快的速度(1ms)將這些值傳遞給PCPC快速計(jì)算并記錄下目標(biāo)的實(shí)際溫度,從而實(shí)現(xiàn)即時(shí)的過(guò)程控制。

    Optitherm lll 可以應(yīng)用在各種各樣的應(yīng)用中,如:生產(chǎn)制造、芯片加工或研究與開(kāi)發(fā)等其他一系列與準(zhǔn)確溫度測(cè)量方面的應(yīng)用。


    技術(shù):

    Optitherm lll 使用了技術(shù),基于紅外技術(shù)的激光來(lái)測(cè)量目標(biāo)的發(fā)射率及真實(shí)溫度。

    一個(gè)低功率的砷化鎵脈沖激光器發(fā)出脈沖激光,通過(guò)特定的光路(激光通道)發(fā)射到被測(cè)目標(biāo)上的測(cè)量區(qū)域,激光反射信號(hào)和紅外輻射信號(hào)通過(guò)另一個(gè)光路(輻射通道)返回。激光信號(hào)(AC)在目標(biāo)信號(hào)(DC)之上。監(jiān)控發(fā)出的激光能量并加上幾何因素(包括測(cè)量距離),Optitherm lll 可以得到被測(cè)目標(biāo)的反射率及發(fā)射率。測(cè)量過(guò)程中,僅接收目標(biāo)輻射出的以激光波段為中心的非常窄的帶寬的波段,這使其可以在特殊應(yīng)用中得到較高的精度。

    Optitherm lll 內(nèi)置了5種操作模式:遠(yuǎn)程控制模式,由PC通過(guò)命令操作和控制;自動(dòng)模式,在一定時(shí)間內(nèi)持續(xù)輸出數(shù)據(jù),時(shí)間可調(diào);單一模式,僅適用其溫度測(cè)量功能;間隔模式,在特定的時(shí)間定序內(nèi)測(cè)量;離線(xiàn)模式,用于安裝和校準(zhǔn)功能。


    參數(shù)設(shè)置:

    紅外輻射和發(fā)射率的自動(dòng)測(cè)量

    溫度范圍:250°C- 1500°C

    溫度精度:±3°C

    6 個(gè)波段可選:

    808、850、905、940、980和 1550nm

    數(shù)據(jù)采樣率可達(dá) 1 ms

    數(shù)字接口: RS232

    每秒鐘向PC端輸出70個(gè)讀數(shù)

    測(cè)量光斑最小可達(dá)0.25",大小可調(diào)


    實(shí)際應(yīng)用:

    半導(dǎo)體薄片溫度測(cè)量

    晶片的生產(chǎn)和研發(fā)

    光潔表面的測(cè)量

    反應(yīng)過(guò)程的溫度測(cè)量:

    CVD 反應(yīng)器

    MBE 反應(yīng)器

    MOCVD 反應(yīng)器

    ------------------------------------------------------


    了解Optitherm lll更多信息及價(jià)格,請(qǐng)致電:,52966697




    型號(hào)

    波段 溫度范圍

    OT-808

    808 nm 600°C - 1500°C

    B

    OT-850

    850 nm 600°C - 1500°C

    OT-905

    905 nm 550°C - 1200°C

    OT-940

    940 nm 500°C - 1150°C

    OT-980

    980 nm 460°C - 1100°C

    OT-1550

    1550 nm 250°C - 800°C

    波段帶寬

    ±35 nm

    溫度精度

    分辨率

    重復(fù)性

    ±3°C

    0.1°C

    0.1°C

    發(fā)射率測(cè)量范圍

    分辨率

    重復(fù)性

    0.01 - 1.00

    0.001

    采樣時(shí)間

    1ms - 200ms 可選

    LCD顯示, 40 字符

    帶手動(dòng)鍵盤(pán)

    測(cè)量值

    E% 發(fā)射率值

    Tu 測(cè)量溫度

    計(jì)算值

    Te 發(fā)射率糾正后的實(shí)際溫度

    測(cè)量目標(biāo)距離

    12"- 18" (定焦) ,可根據(jù)要求定制

    目標(biāo)光斑大小

    0.25" - 0.40"

    可根據(jù)要求定制

    串口通信

    數(shù)字串口 RS-232

    模擬輸出0-20 mA 0-5 Vdc (發(fā)射率或?qū)嶋H溫度測(cè)量輸出)

    操作模式可選:

    遠(yuǎn)程控制模式

    PC發(fā)出命令控制

    高速傳輸模式

    數(shù)據(jù)以每秒鐘70r的速度(1ms)發(fā)給PCPC計(jì)算出發(fā)射率值及實(shí)際溫度值,用于過(guò)程控制或數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

    自動(dòng)模式

    持續(xù)輸出發(fā)射率及實(shí)際溫度的值

    單一模式

    即時(shí)的測(cè)量并顯示在顯示屏上

    間隔模式

    除了時(shí)間間隔以外,其他與單一模式相同

    離線(xiàn)模式

    用于安裝和校準(zhǔn)

    儀器附件

    STD 19" 機(jī)箱 19" L x 14.1" D x 5.2" H

    電源需求

    115Vac/60 Hz 220Vac/50Hz

    標(biāo)準(zhǔn)傳感器頭

    4.15" Lx2.1"Wx1.45"H

    操作環(huán)境條件

    電路: 15°C - 27°C 傳感器頭: 0°C-25°C

    光纖鏡頭電纜: 0°C-125°C

    非冷凝條件下

    傳感器頭配置

    A

    單軸

    雙軸

    雙軸

    PC

    電路


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