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帶快速進樣室的獨立 MBE 系統

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廠商性質生產商

所  在  地蘇州市

聯系方式:高新查看聯系方式

更新時間:2022-05-13 13:30:06瀏覽次數:151次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:1748條

所在地區:江蘇蘇州市

聯系人:高新 (總經理)

產品簡介

詳細介紹帶快速進樣室的獨立MBE系統MBE系統帶快速進樣室的獨立MBE系統本底真空優于2x10-10mbar4軸操縱器,可直接連接電子光束加熱至1200C和液氮LN2冷卻Load-Lock進樣室與線性傳輸桿,使樣品夾具傳輸方便

詳細介紹

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帶快速進樣室的獨立 MBE 系統










MBE系統
帶快速進樣室的獨立 MBE 系統
  • 本底真空優于2x10-10mbar
  • 4 軸操縱器,可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和 液氮LN2冷卻
  • Load-Lock進樣室與線性傳輸桿,使樣品夾具傳輸方便。最多可存儲6個樣品夾具。
  • 沉積室包含用于 RHEED 槍、離子槍、光束通量監視器、石英晶體天平等的端口。
  • 可更換底部法蘭,帶專用起重推車
  • 沉積室中可防止交叉污染
樣品沉積室配備了用于分析儀器等的其他端口。
根據蒸發源的類型和數量以及基板大小,可提供不同的標準襯底尺寸:直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm(根據要求的其他尺寸)。






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