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行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

上海繪吉電子科技有限公司


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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2021-11-06 17:09:46瀏覽次數(shù)：291次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：174條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

型號：OTF-1200X-50-4CLV-PE品牌： 科晶


4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 核心參數(shù)

  • 升溫速度（達(dá)到溫）
    10℃
  • 內(nèi)部尺寸
    外徑: 50 ×內(nèi)徑: 44 ×長: 1000 mm
  • 加熱方式
    電阻絲
  • 功率
    3KW
  • 控溫精度
    ±1℃
  • 溫度
    1200℃
  • 儀器種類
    管式爐


為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD）， 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。


技術(shù)參數(shù)

實驗機理

  • 輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3

  • 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

產(chǎn)品特點

  • 雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

  • 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

  • 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

OTF-1200X開啟式管式爐，工作溫度高達(dá)1200℃      化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖

開啟式管式爐

  • 工作溫度：1200℃

  • 爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

  • 溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  • 加熱區(qū)長度：440mm

  • 恒溫區(qū)長度：150mm

  • 功率：AC 220V 4KW

等離子射頻電源

  • 輸出功率：50-500W可調(diào)±1%

  • RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%

  • 噪聲：≤55DB

  • 冷卻：風(fēng)冷

  • 輸入功率：1KW  AC 220V

真空泵和閥門

  • 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

  • 真空度可達(dá)10-3torr

  • 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5至 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細(xì)介紹）

質(zhì)量流量計

  • 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量

  • 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

  • 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

  • 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入

  • 進(jìn)氣口：采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭

細(xì)節(jié)圖展示


外形尺寸

  • 爐體：550*380*520mm

  • 供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm

  • 凈重：120KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

  • CE認(rèn)證

  • 所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證

  • 若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

國家

名稱：可組合式等離子增強化學(xué)氣相沉積裝置

編號：ZL-2011-2-0355777.1

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

使用注意事項：

  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

  • 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）




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