天津中環(huán) RTP-小型快速退火爐

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更新時(shí)間：2022-02-05 08:35:32瀏覽次數(shù)：142次

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  實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備

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南寧藍(lán)天實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

摘要采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫

詳細(xì)介紹

摘要

采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品應(yīng)用：

該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對樣品進(jìn)行快速升降溫處理；管內(nèi)測溫設(shè)計(jì)，溫控精度高,升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。

產(chǎn)品名稱	RTP-小型快速退火爐
產(chǎn)品型號	RTP-G11103-K
額定功率	9KW
額定電壓	220AC 50/60Hz
溫度可達(dá)	1000°C
連續(xù)工作	950°C(<1>
加熱區(qū)長度	300mm
恒溫區(qū)長度	100mm
加熱元件	紅外燈管
溫度控制	國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ110*380MM
爐管材質(zhì)	石英管
滑動(dòng)距離	355mm
滑動(dòng)方式	手動(dòng)滑動(dòng)
建議升溫速度	室溫900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec
外形尺寸	950 X 350 X 530 mm
重量	45Kg
標(biāo)準(zhǔn)配置	氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個(gè)。

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