過程控制煙氣在線監測系統定期的校準和校驗是保證CEMS測量數據準確可靠的基礎。該系統的校準和檢驗通常包括兩種方式：一種是分析儀表校準，用于標定和檢驗分析儀儀表的測量準確性；另一種是全系統校準，用于對CEMS整個采樣、氣體傳輸、預處理和分析儀表等全過程的測量情況進行標定和檢驗。
過程控制煙氣在線監測系統的日常維護保養工作：
1、加熱裝置和制冷裝置
加熱裝置和制冷裝置是保護煙氣分析儀的重要設備，是日常巡視和維護的重點關注對象。加熱裝置溫度一般控制在130℃左右，在沒有加熱的情況下，煙氣中水分進入分析儀，造成濾芯堵塞，分析儀損壞等，同時管路中形成酸霧，直接影響測量結果；制冷裝置溫度一般控制在4℃左右，如果冷凝器溫度只能達到6℃及以上時需要進行維修或者更換。
2、蠕動泵檢查
蠕動泵用于排出制冷器冷凝筒內的水和密封取樣氣路。如果蠕動泵長時間不工作，冷凝水會進入采樣泵和分析儀，造成設備損壞。
3、反吹系統檢查
反吹系統檢查時，檢查反吹氣源壓力是否在正常范圍內。手動反吹時，將系統切至維護狀態進行反吹。自動反吹是在PLC控制系統中設置好反吹時間并將測量數據進行保持，不會因反吹而發生控制系統調節異常或者設備損壞。
4、煙氣分析儀的定期標定
煙氣分析儀需要定期進行零點和量程標定。CEMS監測站房都配有每種被測介質因子的高中低三種濃度的標準氣體和高純氮，標定完畢通入另一濃度的標準氣進行比對。標定周期為每半年至少一次。自動零點校準根據現場設備實際情況設置為8-12個小時自動進行一次零點標定，避免出現零點漂移，保證分析測量的準確性。
