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PiPi小型等離子裝置

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更新時間:2022-05-22 13:10:30瀏覽次數:137次

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產品簡介

PiPi小型等離子裝置高頻輸出 200W,反應腔 W130D130mm 經濟型、.適合于研究開發用小型等離子清洗機。 特點 ● 經濟型等離子清洗…

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PiPi小型等離子裝置

高頻輸出 200W,反應腔 W130×D130mm  

經濟型、.適合于研究開發用小型等離子清洗機。  

特點  

● 經濟型等離子清洗機

● 簡單的等離子處理操作

● 等離子模式為RIE模式  

用途  

● 去除有機物

● 樹脂/膜等表面改質

● 改善粘接效果

● 提高親水性

● 去除金屬氧化物

● 蝕刻  

等離子  

等離子為氣體發生電離狀態,形成帶有正電的離子及帶有負電的電子狀態。等離子為帶有高能量、反應性非常高的狀態,其容易與物質表面進行反應的特性被廣泛使用。  

等離子RIE(Reactive Ion Etching 方式)

RIE是去除物體表面的有機物污垢,同時去除無機物的.合適的清洗方式。

RIE方式為加速離子層中的陽離子,沖擊污染表面的物理性清洗方式。

規格  

型號

PM100

等離子方式

RIE模式

電極構造

平行平板式

高頻輸出

Max200W

頻率

13.56MHz

電極尺寸

W130×D130mm

外形尺寸

W438×D520×H565mm

反應氣體

Ar

填充氣體

N2或干燥空氣

反應氣體流量計

流量計

控制方式

程序控制

電源

單相100V

真空泵(選配)

油泵 135L/min50Hz

 


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