您知道涂膠機的重要性嗎
在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。
由于社會行業分類很多，大家對膠的處理與使用方法也不同，雖然叫做涂膠機的設備很多，但其同名下也有根本的區別，而最明顯的區別在于
它們所涂出的膠的形式不同，我們這里所說的自動涂膠機嚴格意義上應當叫做“線形軌跡涂膠機”就是事自動控制系績或者機器人控制系統帶動涂
膠頭根據設定編制好的固定軌跡運動，對涂膠頭所走過的軌跡中需要施膠的部分進行施校，這樣的軌跡可以是平面內的直線、圍弧、點，也可以是獨立體空間工件上的直線、圓弧、點、而同樣叫做涂膠機而用在板材、膠布等上面進行輥子式面形涂膠形式的不在今天我們的念之中。當然，具有 類似的線形軌跡涂膠的設備也因行業的不同而叫法各異，比如電子行業的小型余電子板上的微型涂膠機在許多地方叫做點控機，其他地方限著地方叫法不同也有打膠機、上膠機、商膠機、膠水機等。但最根本的叫法我們還是叫做涂膠機，或者自動涂膠機，或者智能涂膠機。
涂膠機根據各具體使用行業不同，各設計開發廠家的開發理念不同而不同，所以分類方法也是備異:
4、按照涂膠工件而分:發動機涂膠機、汽車燈具涂膠機、電子板涂膠機等。
B、根據控制系統而分:機器人涂膠機、數控系統涂膠機、單片機控制涂膠機等。
C、根據控制軸數而分:2軸涂膠機、2.5軸涂膠機、3軸涂膠機、多軸涂膠機等。
D、根據所涂膠類而分:厭氧校涂膠機、硅膠涂膠機、聚氨脂膠涂曉機等。
E:根據膠的配比而分;單組分膠涂校機、雙組分膠涂膠機等。
F、根據涂膠頭數而分;單頭涂脫機、雙頭涂校機、每頭涂膠機等。
