光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.01℃精度溫度傳感器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.01℃精度溫度傳感器配備了RS485通訊接口，支持MODBUS協(xié)議，可提供用戶二次開(kāi)發(fā)。獨(dú)立的電源開(kāi)關(guān)可單獨(dú)控制模塊供電。

詳細(xì)介紹

引言
光刻機(jī)（Mask Aligner）又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類(lèi)似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。
光刻機(jī)工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅(jiān)膜、檢測(cè)。其中光刻機(jī)的檢測(cè)尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅(jiān)膜。對(duì)刻蝕和離子注入工藝非常關(guān)鍵。正膠的堅(jiān)膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會(huì)產(chǎn)生光刻膠流動(dòng)。因此溫度對(duì)于光刻的成品率起著重要的決定性因素。智測(cè)推出：光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.01℃精度溫度傳感器

合肥智測(cè)電子有限公司的一款高精度熱敏電阻測(cè)量產(chǎn)品，支持4線制熱敏電阻測(cè)量，測(cè)量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS協(xié)議，包括MODBUS RTU和MODBUS ACSII協(xié)議，NTC測(cè)量模塊采用24V直流電壓供電，提供4線制熱敏電阻溫度測(cè)量，用戶可輸入NTC 特征參數(shù)，精度可達(dá)±0.02℃。模塊配備了RS485通訊接口，支持MODBUS協(xié)議，可提供用戶二次開(kāi)發(fā)。獨(dú)立的電源開(kāi)關(guān)可單獨(dú)控制模塊供電。

產(chǎn)品性能
靈敏度高,響應(yīng)速度快
精度高
具有良好的絕緣密封性和抗機(jī)械碰撞
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
小巧便捷
獨(dú)立電源鍵
支持4線制熱敏電阻測(cè)量

半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)高精度測(cè)溫模塊、半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)高精度測(cè)溫儀、半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)溫度探頭、半導(dǎo)體生產(chǎn)涂膠機(jī)溫度傳感器、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫模塊、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫儀、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)溫度傳感器、浸沒(méi)式光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫模塊、浸沒(méi)式光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫儀、浸沒(méi)式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、浸沒(méi)式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度傳感器、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫模塊、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度測(cè)溫儀、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度傳感器、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫模塊、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫儀、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度溫度探頭、半導(dǎo)體裝備超潔凈流體溫度檢測(cè)高精度溫度傳感器、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫模塊、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度測(cè)溫儀、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度溫度探頭、半導(dǎo)體裝備流控系統(tǒng)溫度檢測(cè)高精度溫度傳感器

合肥智測(cè)電子有限公司是一家專注于提供計(jì)量、校驗(yàn)、專業(yè)致力于高精度電信號(hào)檢測(cè)、高精度溫度檢測(cè)、高穩(wěn)態(tài)溫場(chǎng)發(fā)生及控制技術(shù)，研發(fā)生產(chǎn)計(jì)量校驗(yàn)儀器設(shè)備、檢測(cè)儀器、傳感器等，本著以客戶為中心的思想和經(jīng)營(yíng)理念，為制藥、生物醫(yī)藥、食品、計(jì)量以及其他行業(yè)提供良好的產(chǎn)品解決方案及售后服務(wù)，公司以快速響應(yīng)的售后服務(wù)要求和技術(shù)解決方案，以最短的時(shí)間內(nèi)為客戶提供現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)服務(wù)，時(shí)刻為客戶著想，期望與客戶建立共同成長(zhǎng)并實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期共贏的合作方式。

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