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2657A高功率數字源表

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產品簡介

2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產品和功率半導體元件（例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件）的檢定和測試而設計。它們提供的功率、精度、速度、靈活性和易用性，可提高研發、生產測試和可靠性環境中的效率。有兩種儀器可用，提供高達 3000V 或高達 2000W 的脈沖電流功率。

詳細介紹

2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元（SMU），具有迄今為止的功率、精度、速度、靈活性和易用性，能夠大大提高研發、生產測試和可靠性環境的測試效率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導體器件的特征分析與測試而設計的，例如二極管、FET和IGBT，以及其它一些需要高電壓、快速響應和精確測量電壓和電流的元件和材料。2657A是吉時利功率半導體特征分析和測試解決方案的2600A系列產品，具有業界的功率和的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業界大的參數式特征分析軟件平臺，能夠隨著用戶應用的發展進行升級。

2657A與其它2600A系列數字源表一樣，具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載，并配置了精密電壓和電流計。它可以用作：

• 半導體特征分析儀
• 電壓或電流波形發生器
• 電壓或電流脈沖發生器
• 支持電壓和電流讀回的精密電源
• 真電流源
• 數字萬用表（DCV、DCI、歐姆和六位半分辨率電源）
• 精密電子負載

2657A主要技術指標¹

	源		測量
量程	編程分辨率	精度 ±(% rdg + V)	顯示分辨率	積分ADC精度² ±(% rdg + V)	高速ADC精度³ ±(% rdg + V)
200 V	5 mV	0.03% + 50 mV	100 μV	0.025% + 50 mV	0.05% + 100 mV
500 V	10 mV	0.03% + 125 mV	100 μV	0.025% + 100 mV	0.05% + 200 mV
1500 V	40 mV	0.03% + 375 mV	1 mV	0.025% + 300 mV	0.05% + 600 mV
3000 V	80 mV	0.03% + 750 mV	1 mV	0.025% + 600 mV	0.05% + 1.2 V

電流精度指標⁴

	源		測量
量程	編程分辨率	精度 ±(% rdg + A)	顯示分辨率	積分ADC精度² ±(% rdg + A)	高速ADC精度 ³ ±(% rdg + A)
1 nA	30 fA	0.1% + 2E^–12 + VoE^–15	1 fA	0.1% + 6E^–13 + VoE^–15	0.2% + 6E^–13 + VoE^–15
10 nA	300 fA	0.1% + 5E^–12 + VoE^–15	10 fA	0.1% + 5E^–12 + VoE^–15	0.2% + 5E^–12 + VoE^–15
100 nA	3 pA	0.1% + 6E^–11 + VoE^–13	100 fA	0.1% + 6E^–11 + VoE^–13	0.2%+ 6E^–11 + VoE^–13
1 μA	30 pA	0.03% + 700 pA	1 pA	0.025% + 400 pA	0.08% + 800 nA
10 μA	300 pA	0.03% + 5 nA	10 pA	0.025% + 1.5 nA	0.08% + 3 nA
100 μA	3 nA	0.03% + 60 nA	100 pA	0.02 % + 25 nA	0.05% + 50 nA
1 mA	30 nA	0.03% + 300 nA	1 nA	0.02 % + 200 nA	0.05%+ 400 nA
2 mA	60 nA	0.03% + 1.2 μA	1 nA	0.02 % + 500 nA	0.05% + 1 μA
20 mA	600 nA	0.03% + 12 μA	10 nA	0.02 % + 5 μA	0.05%+ 10 μA
120 mA	3 μA	0.03% + 36 μA	100 nA	0.02 % + 24 μA	0.05%+ 50 μA

1.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.15 × 精度指標) °C。

2. 對于NPLC設置<1因增加了誤差項而降低了精度指標。對于阻性負載使用下表適當增加量程項的百分比。

NPLC 設置	200V和500V 量程	1500V和3000V 量程	100nA 量程	1μA到120mA 量程
0.1	0.01%	0.01%	0.01%	0.01%
0.01	0.08%	0.07%	0.1 %	0.05%
0.001	0.8 %	0.6 %	1 %	0.5 %

3.18位ADC。間隔1μs的1000個樣本均值。

4.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.35 × 精度指標) °C

其它特性

典型電壓源噪聲：量程的0.005%。
典型電流源噪聲：量程的0.08%。
典型電壓源設置：<1ms到200V，<7ms到3000V。
典型電流源設置：<5ms到120MA，<200ms到1µA。
相關指標如有改變恕不另行通知。

觸發與同步指標

觸發：TRIGGER IN到TRIGGER OUT：0.5µs，典型值。
同步：單節點或多節點同步源變化：<0.5μs，典型值。

編程

TEST SCRIPT BUILDER: 用于編輯、運行和管理TSP腳本的集成式開發環境。
TSP EXPRESS （內嵌的）：無需編程或安裝其它軟件即可使用戶快速而方便地執行常見I-V測試的工具。
軟件接口：TSP EXPRESS（內嵌的）、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的讀/寫、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。

系統擴展

支持TSP功能的儀器通過TSP-Link擴展接口可以相互觸發和通信。如下圖所示：

2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源

一般性指標

USB：USB 2.1主控制器，支持外部數據存儲。
接觸檢查：± 50Ω
PC接口：IEEE-488.1和.2；LXI CLASS C以太網；RS-232。
數字I/O接口：輸入/輸出腳：14個漏極開路I/O位。5.25V。
電源：100V到250V交流，50HZ–60HZ（自動檢測），功率550VA。
冷卻：強迫風冷。側面和頂部吸氣，后部排氣。
EMC：符合歐盟EMC指令。
安全性：ETL列出（待確認）。符合歐盟低壓指令。
質保期：1年。
尺寸：高89mm × 寬435mm × 深549mm（3.5in × 17.1in × 21.6in）。測試臺配置（帶手柄和腿）：高104mm × 寬483mm × 深620mm（4.1in × 19in × 24.4in）。
重量：9.98KG（22lbs）。
使用環境：僅適合室內使用。
校準周期：一年。