C/G 測量精度實例
頻率測量的電容C 精度 1G 精度 1, 2
10 MHz 31 pF±0.92%±590 ns
10 pF±0.32%±1.8 µs
100 pF±0.29%±17 µs
1 nF±0.35%±99 µs
1 MHz1 pF±1.17%±64 ns
10 pF±0.19%±65 ns
100 pF±0.10%±610 ns
1 nF±0.09%±4 µs
100 kHz10 pF±0.31%±28 ns
100 pF±0.18%±59 ns
1 nF±0.10%±450 ns
10 nF±0.10%±3 µs
10 kHz100 pF±0.31%±15 ns
1 nF±0.15%±66 ns
10 nF±0.08%±450 ns
100 nF±0.10%±3 µs
1 kHz1 nF±0.82%±40 ns
10 nF±0.40%±120 ns
100 nF±0.10%±500 ns
1 µF±0.15%±10 µs
注

1. 電容和電導測量精度是在下述條件下給出的：DX < 0.1。
2. 電導精度為參考的電容上測量的電導。
3. 這些指標是典型值，非保證值，適用于23℃，僅供參考。
4. 積分時間：10 kHz 以下時為1 s 或10 s。測試信號電平: 30 mV rms。在4210-CVU 的后面板上。
所有技術數(shù)據(jù)適用于23℃ ±5℃、校準后一年以內(nèi)、相對濕度5%~60%、預熱30 分鐘后。

CVU 電纜補充技術指標3

這些指標是典型值，非保證值，適用于23℃，僅供參考。

4210-CVU 典型電容精度，1.5m 電纜( 補充)
測得電容1 kHz10 kHz100 kHz1 MHz10 MHz
1 pF-±8.38%±1.95%±0.43%-
10 pF-±0.94%±0.21%±0.18%±1%
100 pF-±0.29%±0.20%±0.15%±1%
1 nF±0.72%±0.17%±0.12%±0.16%±2%
10 nF±0.28%±0.12%±0.13%±0.55%-
100 nF±0.12%±0.13%±0.22%±1.14%-
1 mF±0.17%±0.21%---
4210-CVU 典型電容精度，3m 電纜( 補充)
測得電容1 kHz10 kHz100 kHz1 MHz10 MHz
1 pF-±8.5 %±2.05%±0.57%-
10 pF-±0.96%±0.23%±0.21%-
100 pF-±0.29%±0.20%±0.17%-
1 nF±0.72%±0.17%±0.12%±0.18%-
10 nF±0.28%±0.12%±0.13%±0.65%-
100 nF±0.12%±0.13%±0.22%±1.16%-
1 mF±0.17%±0.21%---
注

1. 電容和電導測量精度是在下述條件下的：DX < 0.1。
2. 電導精度為參考的電容上測量的電導。
3. 這些指標是典型值，非保證值，適用于23℃，僅供參考。
4. 積分時間：10 kHz 以下時為1 s 或10 s。測試信號電平: 30 mV rms。在4210-CVU 的后面板上。所有技術數(shù)據(jù)適用于23℃
±5℃、校準后一年以內(nèi)、相對濕度5%~60%、預熱30 分鐘后。

4. CV-IV 多通道開關模塊

I-V/C-V 多通道開關自動在I-V 測量和C-V 測量之間切換。此外，C-V 測量可以 在不同端口間自動切換，而不需重新布線。用戶可以配置每個通道，使用4200- PA 前端放大器或標準電流分辨率時，選擇SMU 直傳模塊4200A-CVIV-SPT 保證 低電流測量精度。

4200A-CVIV 基本信息
輸入接口
4200-PA 前端放大器：自定義, 15 針, D-Sub ( 公頭)
4200-CVIV-SPT SMU 直傳模塊：每個模塊兩個三同軸接口( 母頭)
CVU：四個SMA 接口( 母頭)
輸出接口
8 個三同軸接口( 母頭)
外觀尺寸
19.8 cm 寬 x 14.2 cm 高 x 11.1 cm 深
(7.8 英寸寬 x 5.6 英寸高 x 4.4 英寸深)
重量
1.5 公斤(3.3 磅)
供電
通過USB 電纜連接至4200A-SCS 主機
輸出通道
可以配置最多4 個通道
電壓
210 V
電流
1A
SMU 通道
 采用 4200-PA采用 4200A-CVIV-SPT
偏置電流<100 fA< 1pA
偏置電壓<100mV<100mV
并聯(lián)電阻>1e15W>1e14W
DC 輸出電阻 (2 線 )1.5W1.5W
DC 輸出電阻 (4 線 )<100 mW<100 mW
SMU 通道
AC 輸出阻抗
100Ω, 典型值( 中間芯線到外部屏蔽層)
精度, 典型值
參閱下表
CVU DC 偏置功能
范圍
±30V @ 10 mA 值(60V 差分)
分辨率
1 mV
其他誤差( 對CVU 偏置功能)
<50µV
DC 輸出電阻(4 線)
<100 mΩ
4210-CVU 連接到4200A-CVIV 多通道開關的典型精度，除另外標注外均為2 線模式1,3
測得電容1 kHz10 kHz100 kHz1 MHz
1 pF未指明±9.0%±2.2%±0.7%
10 pF未指明±1.0%±0.5%±0.5%
100 pF未指明±0.5%±0.5%±0.5%
1 nF±0.8%±0.5%±0.5%±0.5% 2
10 nF±0.5%±0.5%±0.5%±0.75% 2
100 nF±0.5%±0.5%±0.5%±1.25% 2
1mF±0.5%±0.5%未指明未指明
注

1. CVU 補償時間不超過一個月內(nèi)有效。
2. 4 線模式下；低阻抗器件推薦使用4 線測試。
3. 上述技術數(shù)據(jù)是典型值，非保證值，適用于25℃，僅供參考。

5. 超快速脈沖測量單元

2 通道4225-PMU 同時提供了超快速電壓波形發(fā)生器及電壓電流同步快速測試功能。

4225-PMU 基本信息
輸出接口
四個SMA 接口( 母頭) 和兩個HDMI 接口
提供的電纜
SMA( 公頭) 到SMA ( 公頭), 2m, 每臺4 根(CA-404B)
SMA 到SSMC Y 型電纜, 6 英寸(15 cm), 每臺2 根(4200-PRB-C)
選配附件
4225-RPM 單通道, 遠程前端放大器/ 開關模塊

PMU 電流測量

定時參數(shù)，有和沒有4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊時的典型值
 10 V 量程40 V 量程
電流測量量程10 mA200 mA100mA10 mA800 mA
推薦最小脈沖寬度 2160 ns70 ns6.4ms770 ns770 ns
推薦最小測量窗口 220 ns20 ns1ms100 ns100 ns
推薦最小跳變時間 320 ns20 ns1ms100 ns100 ns
噪聲 415mA50mA75 nA5mA200mA
穩(wěn)定時間 5100 ns30 ns4ms500 ns500 ns
注

1. 所有典型值都使用開路測得。
2. 使用75%~90% 的脈沖頂部默認測量窗口。推薦最小脈沖寬度 = ( 穩(wěn)定時間) / 75%。
3. 推薦上升/ 下降時間，使過沖達到最小。
4. 電壓或電流量程一定時推薦最小測量窗口上測得的RMS 噪聲，典型值。
5. 信號穩(wěn)定到DC 精度電平所需的時間。( 例：10mA 電流量程在PMU 10V 量程下的穩(wěn)定時間定義為信號穩(wěn)定到最終值的1.25%范圍內(nèi)所需時間。計算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

定時參數(shù)，使用4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊時的典型值1
電流測量量程      
100 nA1mA10mA100mA1 mA10 mA 
推薦最小脈沖寬度 2134ms20.4ms8.36ms1.04ms370 ns160 ns
推薦最小測量窗口 210ms1.64ms1ms130 ns40 ns20 ns
推薦最小跳變時間 31ms360 ns360 ns40 ns30 ns20 ns
噪聲 4200 pA2 nA5 nA50 nA300 nA1.5mA
穩(wěn)定時間 5100ms15ms6 μs750 ns250 ns100 ns
注

1. 所有典型值都使用開路測得。
2. 使用75%~90% 的脈沖頂部默認測量窗口。推薦最小脈沖寬度 = ( 穩(wěn)定時間) / 75%。
3. 推薦上升/ 下降時間，使過沖達到最小。
4. 電壓或電流量程一定時推薦最小測量窗口上測得的RMS 噪聲，典型值。
5. 信號穩(wěn)定到DC 精度電平所需的時間。( 例：10mA 電流量程在PMU 10V 量程下的穩(wěn)定時間定義為信號穩(wěn)定到最終值的1.25% 范圍內(nèi)所需時間。計算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

PMU 電流測量精度

僅4225-PMU
 10 V 量程40 V 量程
電流測量量程10 mA200 mA100 mA10 mA800 mA
精度 (DC)±(0.25% + 100 mA)±(0.25% + 250 mA)±(0.25% + 1mA)±(0.5% + 100mA)±(0.25% + 3 mA)
4225-PMU 和RPM 組合
 10 V 量程
電流測量量程100 nA1mA10mA100mA1 mA10 mA
精度 (DC)±(0.5% + 1 nA)±(0.5% + 1 nA)±(0.5% + 30 nA)±(0.5% + 100 nA)±(0.5% + 1mA)±(0.5% +10mA)

PMU 電壓測量

定時參數(shù), 典型值1
 4225-PMU4225-RPM
電壓測量量程10 V40 V10 V
推薦最小脈沖寬度 270 ns150 ns160 ns
推薦最小測量窗口 220 ns20 ns20 ns
推薦最小跳變時間 320 ns100 ns20 ns
噪聲 42 mV8 mV1 mV
穩(wěn)定時間 530 ns30 ns100 ns
注

1. 所有典型值都使用開路測得。
2. 使用75%~90% 的脈沖頂部默認測量窗口。推薦最小脈沖寬度 = ( 穩(wěn)定時間) / 75%。
3. 推薦上升/ 下降時間，使過沖達到最小。
4. 電壓或電流量程一定時推薦最小測量窗口上測得的RMS 噪聲，典型值。
5. 信號穩(wěn)定到DC 精度電平所需的時間。( 例：10mA 電流量程在PMU 10V 量程下的穩(wěn)定時間定義為信號穩(wěn)定到最終值的1.25%范圍內(nèi)所需時間。計算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

PMU 電壓精度

 ±10 V PMU±40 V PMU±10 V RPM
精度 (DC)±(0.25% + 10 mV)±(0.25% + 40 mV)±(0.25% + 10 mV)

電壓和電流, 值1

 10V 量程40V 量程
電阻 2電壓 2電流 2電壓 2電流 2
1 Ω0.196 V196 mA0.784 V784 mA
5 Ω0.909 V182 mA3.64 V727 mA
10 Ω1.67 V167 mA6.67 V667 mA
25 Ω3.33 V133 mA13.3 V533 mA
50 Ω5.00 V100 mA20.0 V400 mA
100 Ω6.67 V66.7 mA26.7 V267 mA
250 Ω8.33 V33.3 mA33.3 V133 mA
1 kΩ9.52 V9.5 mA38.1 V38.1 mA
10 kΩ9.95 V995 mA39.8 V3.98 mA
注

1. 計算任何負載電阻上得到的電流和電壓：
IMAX = 電壓量程/(50W + 電阻)
VMAX = IMAX - 電阻
其中：電阻是連接到PMU 或PGU 通道的總電阻，電壓量程為10 或40。例：采用10 V 量程 R= 10W (DUT 阻值 + 互連阻值)
VMAX = IMAX - R = 0.167 - 10 = 1.67 V
2. 脈沖輸出接口上典型的值。電阻是連接到脈沖輸出接口的總電阻，包括器件和互連電阻。

PMU 脈沖/ 幅值1,2

  10 V 量程40 V 量程
VOUT50Ω 至 1 MΩ-10 V ~ +10 V-40 V ~ +40 V
VOUT50Ω 至 50Ω-5 V ~ +5 V-20 V ~ +20 V
精度 ±(0.5% + 10 mV)±(0.2% + 20 mV)
分辨率50Ω 至 50Ω<250 mV<750 mV
50Ω 至 1 MΩ<0.05 mV<1.5 mV
過沖/ 預沖/ 振鈴 350Ω 至 50Ω±(3% + 20 mV)±(3% + 80 mV)
50Ω 至 50Ω, 情況典型值±(2% + 20 mV)±(0.8% + 40 mV)
基線噪聲 ±(0.3% + 1 mV) RMS 典型值±(0.1% + 5 mV) RMS 典型值
源阻抗 50Ω 標稱值50Ω 標稱值
電流至 50Ω 負載( 在滿量程時) ±100 mA 典型值±400 mA 典型值
短路電流 ±200 mA±800 mA
輸出限制保護 可編程極限，保護被測器件
注

1. 除另外指明外，所有技術數(shù)據(jù)均假設采用50W 端接。
2. 幅值指標適用于10 V 源量程50 ns 的典型穩(wěn)定時間后( 在轉換后)，40 V 源量程500 ns 的典型穩(wěn)定時間后( 轉換后)，負載均為50W。
3. 對10 V 源范圍，跳變時間為20 ns (0%-99%)；對40 V 源范圍，跳變時間為100 ns (0%-99%)。

PMU 脈沖定時

 10 V 量程僅源10 V 量程帶測量40 V 量程僅源40 V 范圍帶測量
頻率范圍1 Hz ~ 50 MHz1 Hz ~ 8.3 MHz1 Hz ~ 10 MHz1 Hz ~ 3.5 MHz
定時分辨率10 ns10 ns10 ns10 ns
RMS 抖動 ( 時間周期 ,
寬度 ), 典型值		0.01% + 200 ps0.01% + 200 ps0.01% + 200 ps0.01% + 200 ps
周期范圍20 ns ~ 1 s120 ns ~ 1 s100 ns ~ 1s280 ns ~ 1s
精度±1%±1%±1%±1%
脈沖寬度范圍10 ns ~
( 周期 -10 ns)		60 ns ~
( 周期 -10 ns)		50 ns ~
( 周期 -10 ns)		140 ns ~  ( 周期 -10 ns)
精度±(1% + 200 ps)±(1% + 200 ps)±(1% + 5 ns)±(1% + 5 ns)
可編程跳變時間
(0%-99%)		10 ns ~ 33 ms20 ns ~ 33 ms30 ns ~ 33 ms 1100 ns ~ 33 ms
跳變上升速率精度±1%( 跳變 > 100 ns)±1%( 跳變 > 100 ns)±1%( 跳變 > 1 μs)±1%( 跳變 > 100 ns)
固態(tài)繼電器開 / 關時間25ms25ms25ms25ms
注

1. 在電壓<10 V 時，40V 范圍最小可編程跳變時間( 僅源) 為30ns；在電壓>10 V 時，為100 ns。

電壓源, 性能

在采用4225-PMU 作為純電壓源時( 不測量電壓或電流)，定時性能會得到改進。下面更清楚地闡述了作為電壓源使用時的性能，這是在條件下實現(xiàn)的。這些數(shù)據(jù)不應理解為保障值。

 10V 量程40V 量程
上升時間<10 ns50 ns ~ 10 V, 100 ns ~ 40 V
脈沖寬度10 ns (FWHM)50 ns (FWHM)
周期20 ns100 NS
過沖/ 下沖/ 振鈴±(2% + 20 mV)±(0.5% + 40 V)

觸發(fā)

觸發(fā)輸出阻抗
50Ω
觸發(fā)輸出電平
TTL
觸發(fā)輸入阻抗
10 k
觸發(fā)輸入電平
TTL
觸發(fā)輸入跳變定時，值
<100 ns
觸發(fā)輸入到脈沖輸出延遲
400 ns
觸發(fā)同步/ 抖動1
<2 ns

Segment ARB® 和定時

Segment ARB 功能適用于4225-PMU 和4220-PGU，適用于有或沒有4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊的情況。

段數(shù)2
2048
序列數(shù)2
512
序列循環(huán)數(shù)
1012
每段時間
20 ns ~ 40 s
段定時分辨率
10 ns
每段的控制參數(shù)
開始電壓
停止電壓
持續(xù)時間
測量窗口( 僅PMU 或PMU+RPM)
測量類型( 僅PMU 或PMU+RPM)
RMS 抖動( 段)
0.01% + 200 ps 典型值
注

1. 對一臺4200A-SCS 機箱中有多張4225-PMU 或4220-PGU 卡。
2. 每個通道。

6. 脈沖發(fā)生器單元

在不需要脈沖測量時，2 通道純電壓脈沖發(fā)生器為4225-PMU 超快速脈沖測量單元提供了經(jīng)濟的替代方案。

4220-PGU 基本信息

輸出接口
四個SMA 接口( 母頭)
標配電纜
SMA ( 公頭) 到SMA( 公頭), 2 m, 每臺4 根(CA-404B)
SMA ( 公頭) 到SSMC Y 型電纜, 15 cm (6 英寸), 每臺2 根(4200-PRB-C)

脈沖/ 電平1,2

  10V 量程40V 量程
VOUT50Ω 至 1 MΩ-10 V ~ +10 V-40 V ~ +40 V
VOUT50Ω 至 50Ω-5 V ~ +5 V-20 V ~ +20 V
精度-±(0.5% + 10 mV)±(0.2% + 20 mV)
分辨率50Ω 至 50Ω<250mV<750mV
50Ω 至 1 MΩ<0.5 mV<1.5 mV
過沖/ 下沖/ 振鈴 350Ω 至 50Ω±(3% + 20 mV)±(3% + 80 mV)
50Ω 至 50Ω, 情況典型值±(2% + 20 mV)±(0.8% + 40 mV)
基線噪聲-±(0.3% + 1 mV) RMS 典型值±(0.1% + 5 mV) RMS 典型值
源阻抗-50Ω 標稱值50Ω 標稱值
電流至 50Ω 負載
( 在滿量程時 )		-±100 mA 典型值±400 mA 典型值
短路電流-±200 mA±800 mA
輸出限制保護-可編程極限，保護被測器件
注

1. 除另行指明外，所有技術數(shù)據(jù)均假設50W 端接。
2. 電平指標適用于10 V 源量程50 ns 的典型穩(wěn)定時間后( 在轉換后)，40 V 源量程500 ns 的典型穩(wěn)定時間后( 轉換后)，負載均為50W。
3. 對10 V 源范圍，跳變時間為20 ns (0%-99%)；對40 V 源范圍，跳變時間為100 ns (0%-99%)。

脈沖定時

 10 V 量程，
僅源		40 V 量程，
僅源
頻率范圍1 Hz ~ 50 MHz1 Hz ~ 10 MHz
定時分辨率10 ns10 ns
RMS 抖動 ( 時間周期 , 寬度 ), 典型值0.01% + 200 ps0.01% + 200 ps
周期范圍20 ns ~ 1 s100 ns ~ 1s
精度±1%±1%
脈沖寬度范圍10 ns ~ ( 周期 -10 ns)50 ns ~ ( 周期 -10 ns)
精度±(1% + 200 ps)±(1% + 5 ns)
可編程跳變時間 (0%-99%)10 ns ~ 33 ms30 ns ~ 33 ms 1
跳變上升速率精度±1%
( 跳變 > 100 ns)		±1%( 跳變 > 1 ms)
固態(tài)繼電器開 / 閉時間25 ms25 ms
注

1. 對10 V 源范圍，跳變時間為30 ns；對>10 V 源范圍，跳變時間為100 ns。

電壓源, 性能

在采用4225-PMU 作為純電壓源時( 不測量電壓或電流)，定時性能會得到改進。下面更清楚地闡述了作為電壓源使用時的性能，這是在條件下實現(xiàn)的。這些數(shù)據(jù)不應理解為保障值。

 10V 量程40V 量程
上升時間<10 ns50 ns ~ 10 V, 100 ns ~ 40 V
脈沖寬度10 ns (FWHM)50 ns (FWHM)
周期20 ns100 NS
過沖/ 下沖/ 振鈴±(2% + 20 mV)±(0.5% + 40 V)
觸發(fā)輸出阻抗
50Ω
觸發(fā)輸出電平
TTL
觸發(fā)輸入阻抗
10 k
觸發(fā)輸入電平
TTL
觸發(fā)輸入跳變定時，值
<100 ns
觸發(fā)輸入到脈沖輸出延遲
400 ns
觸發(fā)同步/ 抖動1
<2 ns

Segment ARB® 和定時

Segment ARB 功能適用于4225-PMU 和4220-PGU，適用于有或沒有4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊的情況。

段數(shù)2
2048
序列數(shù)2
512
序列循環(huán)數(shù)
1012
每段時間
20 ns ~ 40 s
段定時分辨率
10 ns
每段的控制參數(shù)
開始電壓
停止電壓
持續(xù)時間
測量窗口( 僅PMU 或PMU+RPM)
測量類型( 僅PMU 或PMU+RPM)
RMS 抖動( 段)
0.01% + 200 ps 典型值

1. 適用于一個4200A-SCS 機箱中的多張4225-PMU 或4220-PGU 卡。

7. 遠程前端放大器/ 開關模塊

4225-RPM 可以在I-V 測量、C-V 測量和脈沖式I-V 測量之間自動切換，允許選 擇相應的測量，而不需對測試設置重新布線。此外，RPM 擴展了4225-PMU 脈沖 測量模塊的電流量程。

4225-RPM 基本信息

輸入
三個輸入。SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control
輸出
一個通道
輸入接口
三同軸接口( 母頭), 兩個SMA 接口( 母頭), 兩個HDMI
輸出接口
三同軸接口( 母頭), 兩個
外觀尺寸
1.34 英寸寬 x 4.9 英寸深 x 3.0 英寸高(3.4 cm 寬 x 12.5 cm 深 x 7.6 cm 高)
帶底座時外觀尺寸
1.34 英寸寬 x 4.9 英寸深 x 3.8 英寸高(3.4 cm 寬 x 12.5 cm 深 x 9.6 cm 高)
重量
8.6 盎司(245 克) ( 帶底座時: 13.4 盎司(381 克))
選配附件
磁性底座
真空底座

RPM 電流測量

定時參數(shù), 帶有4225-PMU 和4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊的典型值
電流測量量程100 nA1mA10mA100mA1 mA10 mA
推薦最小脈沖寬度 2134ms20.4ms8.36ms1.04ms370 ns160 ns
推薦最小測量窗口 210 ms1.64ms1ms130 ns40 ns20 ns
推薦最小跳變時間 31ms360 ns360 ns40 ns30 ns20 ns
噪聲 4200 pA2 nA5 nA50 nA300 nA1.5mA
穩(wěn)定時間 5100ms15ms6ms750 ns250 ns100 ns
注

1. 所有典型值都使用開路測得。
2. 使用75%~90% 的脈沖頂部默認測量窗口。推薦最小脈沖寬度 = ( 穩(wěn)定時間) / 75%。
3. 推薦上升/ 下降時間，使過沖達到最小。
4. 電壓或電流量程一定時推薦最小測量窗口上測得的RMS 噪聲，典型值。
5. 信號穩(wěn)定到DC 精度電平所需的時間。( 例：10mA 電流量程在PMU 10V 量程下的穩(wěn)定時間定義為信號穩(wěn)定到最終值的1.25%范圍內(nèi)所需時間。計算公式：精度 = 0.25% + 100 μA = 0.25% + (100 μA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

電流測量精度

4225-PMU 和RPM 組合
 10 V 范圍
電流測量范圍100 nA1mA10mA100mA1 mA10 mA
精度 (DC)±(0.5% + 1 nA)±(0.5% + 1 nA)±(0.5% + 30 nA)±(0.5% + 100 nA)±(0.5% + 1mA)±(0.5% +10mA)

脈沖/ 電平1

脈沖 / 電平 14225-PMU 及 4225-RPM
VOUT-10 V ~ + 10 V
到開路負載的精度 2±(0.5% ± 10 mV)
分辨率< .05mV
基線噪聲±(0.39% ± 1 mV) RMS 典型值
過沖/ 下沖/ 振鈴 3± 2% 的幅度 ± 20 mV
注

1. 在4225-PMU 和4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊之間使用2m RPM 互加電纜時4225-RPM 三同軸輸出接口處的性能。
2. 100mV ~ 10V。
3. 典型值, 跳變時間100ns (0% - 99%)。

使用4225-PMU 進行RPM 電壓測量

定時參數(shù), 典型值1
 4225-RPM
電壓測量范圍10 V
推薦最小脈沖寬度 2160 ns
推薦最小測量窗口 220 ns
推薦最小跳變時間 320 ns
噪聲 41 mV
穩(wěn)定時間 5100 ns
注

1. 所有典型值都使用開路測得。
2. 使用75%~90% 的脈沖頂部默認測量窗口。推薦最小脈沖寬度 = ( 穩(wěn)定時間) / 75%。
3. 推薦上升/ 下降時間，使過沖達到最小。
4. 電壓或電流量程一定時推薦最小測量窗口上測得的RMS 噪聲，典型值。
5. 信號穩(wěn)定到DC 精度電平所需的時間。( 例：10mA 電流量程在PMU 10V 量程下的穩(wěn)定時間定義為信號穩(wěn)定到最終值的1.25%范圍內(nèi)所需時間。計算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100 mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

8. 開關矩陣配置

超低電流/ 本地傳感配置（4200-UL-LS-XX）

超低電流/ 本地傳感開關配置采用吉時利7174A 低電流矩陣卡（帶有707B 或708B 開關矩陣）構建，是為要求高質量、高性 能I-V 和C-V 信號開關的半導體研究、開發(fā)和生產(chǎn)應用設計的。這種配置提供了8 個儀器輸入，支持最多72 個輸出引腳， 典型偏置電流僅10 fA。

整體信息 (4200-UL-LS-XX)
接口類型
3 槽三同軸
信號電平
200 V, 1 A
偏置電流
<1 pA ( 行A-B)
泄漏電流
0.01 pA/V
3 dB 帶寬
30MHz 典型值
4200-LC-LS-12/B 或-12/707B

1 臺708B ( 或707B) 開關主機
1 個7072 矩陣開關卡
12 根4200-TRX-3 電纜
1 根7007-1 IEEE-488 電纜
2 個7078-TRX-BNC 轉接頭

4200-LC-LS-24/B 或-36B, -48B, -60B, -72B

1 臺707B 開關主機
每12 針1 個7072 矩陣開關卡
每12 針12 根4200-TRX-3 電纜
1 根7007-1 IEEE-488 電纜
2 個7078-TRX-BNC 轉接頭

707B 6 插槽半導體開關矩陣主機

708B 單插槽半導體開關矩陣主機

低電流/ 本地傳感配置(4200-LC-LS-XX)

低電流/ 本地傳感開關配置采用吉時利7072 半導體矩陣卡構建，是為要求優(yōu)異質量的I-V 和C-V 信號的半導體應用專門設計 的。這種配置提供了8 個儀器輸入，支持最多72 個輸出引腳，偏置電流不到1 pA。

整體信息(4200-LC-LS-XX)
連接器類型
3 蝶閥三軸電纜連接器
信號電平
200 V, 1 A
偏置電流
<1 pA ( 第A-B 行)
泄漏電流
0.1 pA/V
3 dB 帶寬
5 MHz 典型值( 第G-H 行)
4200-UL-LS-12/B 或-12/707B

1 臺708B ( 或707B) 開關主機
1 個7174A 開關卡
每12 針12 根4200-TRX-3 電纜
1 根7007-1 IEEE-488 電纜
2 個7078-TRX-BNC 轉接頭

4200-LC-LS-24/B, -36/B, -48/B, -60/B, -72/B

1 臺707B 開關主機
每12 針1 張7072 矩陣開關卡
每12 針12 條4200-TRX-3 電纜
1 條7007-1 IEEE-488 電纜
2 個7078-TRX-BNC 轉接頭

9. NBTI/PBTI 套件

4200-BTI-A 套件同時提供了吉時利高級DC I-V 和超快速I-V 測量功能及自動測試執(zhí)行軟件，提供了半導體測試行業(yè)內(nèi)的NBTI/PBTI 測試平臺。

4200-BTI-A 超快速NBTI/PBTI

4200-BTI-A 套件包括在硅CMOS 技術上進行最完善的NBTI 和PBTI 測量所需的全部儀器、互連和軟件。

Model 4200-BTI-A

提供了單機集成解決方案中的高速度、低電流測量靈敏度。

確保源/ 測量儀器在進行低電平測量時不會成為限制因素。
ACS 軟件以套件方式提供，支持構建復雜的測試序列，包括最多20 個測量序列及多種探針臺驅動。它還：
把DC I-V 和超快速I-V 測量簡便集成到加壓前和加壓后測量序列中。
使用AC 或DC 壓力分析退化和恢復特性。
在較長的壓力測量序列中包括單脈沖電荷阱陷(SPCT) 測量。

4200-BTI-A 超快速NBTI/PBTI 包括：

1 個4225-PMU 超快速I-V 模塊
2 個4225-RPM 遠程前端放大器/ 開關模塊
自動化特性分析套件(ACS) 軟件
超快速BTI 測試項目模塊
線纜

使用8 個SMU 對20 個器件進行并行HCI 和NBTI 測試的實例。公共端子使用單獨的接地單元(GNDU)。

10. Clarius+ 軟件

Clarius+ 軟件為運行和維護4200A-SCS 參數(shù)分析儀提供了各種工具。

自帶的軟件模塊
Clarius
用來測試和分析器件、材料和工藝特點的圖形用戶界面。Clarius 軟件提供了統(tǒng)一測量界面，引導您完成復雜的特性分析測試，您可以把重點放在研發(fā)項目上。
吉時利用戶庫工具(KULT)
協(xié)助測試工程師創(chuàng)建自定義測試程序，使用現(xiàn)有的吉時利和第三方C 語言子例程庫。用戶可以編輯和匯編子例程，然后把子例程庫與KITE 集成在一起，允許4200A-SCS 從一個用戶界面控制整個測試機架。要求選配4200-Compiler。
吉時利外部控制接口(KXCI)
通過GPIB 總線從外部計算機控制4200A-SCS。
吉時利配置工具(KCon)
允許測試工程師配置連接到4200A-SCS 的GPIB 儀器、開關矩陣和探針臺。同時還提 供了一些診斷工具。
KPulase
一個圖形用戶界面，無需編程，用來配置和控制安裝的4225-PMU 或4220-PGU 脈沖 發(fā)生器模塊。它用于快速測試，與其他4200A-SCS 測試資源的交互要求達到最小。
Clarius 用戶界面軟件
Clarius 4200A-SCS 上運行的標配用戶界面軟件。Clarius 在嵌入式Windows 7 操作系 統(tǒng)上運行。它為現(xiàn)代半導體器件、材料和工藝特性分析提供了測試方案選擇和開發(fā)、高 級測試配置、參數(shù)分析和圖示及自動化功能。
數(shù)據(jù)分析
提供了兩種參數(shù)提取方式。Formulator 為執(zhí)行自動線擬合和參數(shù)提取執(zhí)行數(shù)據(jù)變換。電 子表格提供了標準電子表格分析工具。許多樣例庫都包括參數(shù)提取實例。
Formulator
Formulator 支持數(shù)學運算功能、轉換功能、搜索功能、常用行業(yè)常數(shù)和線擬合/ 參數(shù)提 取功能。Formulator 支持下述功能：
數(shù)學函數(shù)
加(+), 減(-), 除(/), 乘(*), 指數(shù)(^), 值(ABS), 索引位置值(AT), 平均數(shù)(AVG), 移動 平均(MAVG), 條件計算(COND), 導數(shù)(DELTA), 差分系數(shù)(DIFF), 指數(shù)(EXP), 平方根 (SQRT), 自然對數(shù)(LN), 對數(shù)(LOG), 積分(INTEG), 標準方差(STDEV), 移動求和 (SUMMV), 反余弦(ACOS), 反正弦(ASIN), 反正切(ATAN), 余弦(COS), 正弦(SIN), 正切(TAN)
轉換功能
弧度到度(DEG), 度到弧度(RAD)
直線擬合和參數(shù)提取功能
指數(shù)直線擬合(EXPFIT), 系數(shù)a (EXPFITA), 系數(shù)b (EXPFITB)，線性擬合(LINFIT), 線性 斜率(LINFITSLP), x 截距(LINFITXINT), y 截距(LINFITYINT) 對數(shù)線擬合(LOGFIT), 系數(shù) a (LOGFITA), 系數(shù)b (LOGFITB) 線性回歸線擬合(REGFIT), 斜率(REGFITSLP), x 截距 (REGFITXINT), y 截距(REGFITYINT) 切線擬合(TANFIT), 斜率(TANFITSLP), x 截距 (TANFITXINT), y 截距(TANFITYINT) 多項式線擬合包括POLYFIT2、POLY2COEFF 和 POLYNFIT。值(MAX), 最小值(MIN), 中值(MEDIAN)
搜索功能
向下查找(FINDD), 向上查找(FINDU), 使用線性插補查找(FINDLIN), 值位置(MAXPOS), 最小值位置(MINPOS)，個位置(FIRSTPOS), 個位置(LASTPOS) 子陣列 (SUBARRAY), 返回數(shù)量的點(INDEX)
Formulator 常數(shù)
Formulator 支持用戶提供的常數(shù)，用于參數(shù)提取。以下常數(shù)在出廠時軟件自帶常數(shù)：
PI = 3.14159 rad (π)
K = 1.38065 × 10-23 J/K ( 玻爾茲曼常數(shù))
Q = 1.60218 × 10-19 C ( 電子的電荷)
M0 = 9.10938 × 10-31 kg ( 電子質量)
EV = 1.60218 × 10-19 J ( 電子電壓)
U0 = 1.25664 × 10-6 -2 ( 磁導率)
E0 = 8.85419 × 10-12 F/m ( 真空的磁導率)
H = 6.62607 × 10-34 J-s ( 普朗克常數(shù))
C = 2.99792 × 10+8 m/s ( 光速)
KT/Q = 0.02568 V ( 熱電壓)
自動化
測試序列
Clarius 在一個器件、一組器件( 子站、模塊或測試單元組) 或晶圓上用戶可編程數(shù)量的 探針臺上提供了“指向點擊”測試定序功能。
探針臺控制
吉時利集成了很多探針臺驅動可以在測試過程中自動控制探針臺。與工廠聯(lián)系來確認支 持的探針臺廠家及型號。“手動”探針臺模式允許操作人員在測試序列過程中對探針臺 進行操作。
支持的探針臺
手動探針臺
使用手動探針臺驅動進行測試，而不需使用自動探針臺功能。手動探針臺由操作人員控 制來代替電腦控制。在每條命令下，會出現(xiàn)一個對話提示框，指導操作人員要求哪些操作。
 
虛擬探針臺
在不希望探針臺操作時可以使用虛擬探針臺，如在調試時，而沒有必要從測試序列中刪 除探針臺命令。
 
支持的半自動( 分析) 探頭
Cascade Microtech Summit™ 12K 系列- Verified with Nucleus UI Karl Suss Model PA-200-Verified with Wafermap for ProberBench NT, ProberBench NT 專用NI-GPIB 驅動程序, ProberBench NT 專用PBRS232 接口, Navigator for ProberBench NT, Remote Communicator for ProberBench NT MicroManipulator 8860 Prober-Verified with pcBridge, pcLaunch, pcIndie, pcWfr, pc-Nav, pcRouter Signatone CM500 驅動器還適用于帶有互鎖控制器的其他Signatone 探頭, 如WL250 和 S460SE Wentworth Laboratories Pegasus™ FA 系列
其他支持但沒有列出的探頭
吉時利用戶庫工具(KULT)
(要求選配4200-COMPILER)

吉時利用戶庫工具支持創(chuàng)建及把C 語言子例程庫與測試環(huán)境集成起來。用戶庫模塊在Clarius 中通過用戶測試模塊訪問。出 廠時提供的庫為支持的儀器提供啟動和運行功能。用戶可以編輯和編譯子例程，然后把子例程庫與Clarius 集成在一起，允許 4200A-SCS 從一個用戶界面控制整個測試機架。

系統(tǒng)配置和診斷(KCON)

吉時利配置工具(KCON) 簡化了編程和維護全面集成的測試站的工作。KCON 為配置外部儀器、開關矩陣和探針臺及執(zhí)行系 統(tǒng)診斷提供了統(tǒng)一的界面。

外部儀器配置
KCON 允許實驗室管理員把外部儀器與4200A-SCS 及支持的開關矩陣集成起來。在用 戶為支持的儀器配置GPIB 地址后， 吉時利提供的庫將起效， 測試模塊可以在 4200A-SCS 系統(tǒng)之間轉移，用戶不需要做任何修改。除支持的標準儀器外，通用儀器允 許用戶為通用的2 端子或4 端子儀器開發(fā)子例程和控制開關。為實現(xiàn)的系統(tǒng)擴展能力， 用戶可以為通用儀器開發(fā)自己的測試庫。
開關矩陣配置
用戶通過支持的開關矩陣配置定義4200A-SCS 儀器和外部儀器到被測器件(DUT) 引腳的連接。( 參見開關矩陣支持和配置) 一旦定義了連接，用戶只需輸入儀器端子 名稱和引腳編號，就可以建立連接。4200A-SCS 應用和標準用戶庫管理在儀器端子 與DUT 引腳之間輸送測試信號。用戶不需要記住和編程行和列閉合。測試模塊可以在 4200A-SCS 系統(tǒng)之間轉移，而不需要重新輸入連接信息。
4200A-SCS 儀器診斷
通過運行系統(tǒng)自檢，用戶可以確認SMU、C-V 測量單元、脈沖發(fā)生器、示波器和遠程前 端放大器的系統(tǒng)完整性。對比較復雜的問題，系統(tǒng)的配置分析工具可以生成報告，幫助 吉時利技術支持人員診斷問題。
吉時利外部控制接口(KXCI)

通過KXCI，您可以使用外部計算機直接控制4200A-SCS 中的SMU 和CVU 模塊。KXCI 還可以使用UTM 通過內(nèi)置GPIB 或 以太網(wǎng)間接控制超快速I-V 脈沖測量單元。對SMU，KXCI 命令集包括HP 4145 兼容模式，HP4145 的許多已寫好程序盡可以 在4200A-SCS 上使用。

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